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5 Fonctionnement
Les réglages et variables fonctionnelles importants sont programmés en usine sous forme de paramè-
tres dans l'unité de commande électronique de la pompe à vide. Chaque paramètre a un nombre à trois
chiffres et une description. Le fonctionnement et le contrôle pilotés par paramètres sont assurés par les
appareils de commande et d'affichage Pfeiffer Vacuum, ou en externe via RS-485 utilisant le protocole
Pfeiffer Vacuum.
La configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation dépend de l'affectation initiale de
l'unité de commande électronique d'une pompe turbomoléculaire. Les pompes standards sont déjà pré-
configurées en usine. Les adaptations effectuées par le client sur des versions spéciales peuvent diffé-
rer de la configuration standard.
Paramètre
[P:050]
[P:035]
[P:036]
[P:037]
[P:038]
[P:791]
[P:337]
Tab. 4:
Configuration de l'unité de surveillance de gaz de pressurisation
1. Référez-vous au manuel de l'utilisateur de la pompe à vide correspondante pour plus de détails
2. Vérifiez que la présélection de consignes et les instructions de réglages sont appropriées au pro-
3. Configurez la sortie d'accessoire pour le gaz de pressurisation via les interfaces de l'unité de com-
4. Contactez Pfeiffer Vacuum pour toutes questions sur le réglage des paramètres.
L'unité de surveillance de gaz de pressurisation raccordée est prête pour l'utilisation dès que l'alimenta-
tion en tension de service est active sur l'unité de commande électronique.
Ajuster le gaz de pressurisation
1. Réglez le débit en sccm avec le paramètre [P:791].
2. Sélectionnez le débit actuel de gaz de pressurisation pendant le fonctionnement avec le paramè-
Nom
Désignation
SealingGas
Gaz de pressurisation
CfgAccA1
Raccordement des accessoires
A1
CfgAccB1
Raccordement des accessoires
B1
CfgAccA2
Raccordement des accessoires
A2
CfgAccB2
Raccordement des accessoires
B2
SlgWrnThrs
Seuil d'avertissement du débit de
gaz de pressurisation
SealGasFlw
Débit purge de gaz neutre
Réglages des paramètres dans l'unité de commande électronique de la pompe turbo
moléculaire
sur le débit.
cédé.
mande électronique.
Ajustage du gaz de pressurisation
Pfeiffer Vacuum recommande un réglage de la quantité de gaz de pressurisation analogue
au débit prescrit de la vanne de gaz de pressurisation ou de l'étranglement de gaz de pres-
surisation.
tre [P:337].
Fonctionnement
Réglage
0 = Arrêt
1 = Marche
13 = surveillance de la purge de gaz
neutre
5 - 200 sccm
Demande d'état uniquement
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