Agilent DDM 5975 Série Manuel D'utilisation page 113

Table des Matières

Publicité

Tableau 13 Tableau d'état du module de régulation de débit de gaz
Résultat
Débit gaz A
Mass flow
Ouvert
controller
consigne
Vanne d'arrêt
Ouverte
Les états Ouvert et Fermé sont indiqués sur les moniteurs par 1 et 0
respectivement.
Manuel d'utilisation du DDM série 5975
Balayage 
Débit gaz B
avec gaz A
Ouvert
Ouvert
consigne
Ouverte
Ouverte
Utilisation en mode ionisation chimique (CI)
Balayage 
avec gaz B
100 % Ouvert
100 % Ouvert
Ouverte
Évacuation du
Mode Attente,
module de
à l'air ou EI
régulation
100 % Fermé
Ouverte
Fermée
4
0 %
113

Publicité

Table des Matières
loading

Table des Matières