前真空泵的连接 - Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Notice De Mode D'emploi

5
使用说明
前真空泵的连接
前真空泵的连接
应使用 TwisTorr 305 FS 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵
的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须
使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。
TwisTorr 305 FS 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，
注意
建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或
颗粒回流。
148/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)