Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Notice De Mode D'emploi
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Manuels Connexes pour Agilent Technologies TwisTorr 305 FS

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TwisTorr 305 FS

  • Page 1: Twistorr 305 Fs Manuale Di Istruzioni

    TwisTorr 305 FS Pump models: X3513-64008, X3513-64009, X3513-64010, X3513-64011, X3513-64012, X3513-64013, X3513-64014, X3513-64015 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones 用户手册 ユーザーマニュアル User Manual 87-901-057-01 (A.00) 03/2020...

  • Page 2: Safety Notices

    FAR 2.101(a) or as proceed beyond a WARNING notice “Restricted computer software” as until the indicated conditions are defined in FAR 52.227-19 (June 1987) fully understood and met. or any equivalent agency regulation or TwisTorr 305 FS User Manual/ 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 3 TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 3/258...
  • Page 4 TwisTorr 305 FS Page intentionally left blank 4/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 5: Table Des Matières

    Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa del vuoto anteriore Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Arresto di TwisTorr 305 FS Arresto di emergenza TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 5/258...
  • Page 6 Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305 FS Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS 6/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 7 Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Transport et entreposage Description du produit Installation Préparation pour l’installation Configuration Montage du TwisTorr 305 FS Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 7/258...
  • Page 8 Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Transporte y almacenamiento Descripción del producto Instalación Preparación para instalación Puesta en marcha Montaje de la TwisTorr 305 FS 8/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 9 Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Parada de la TwisTorr 305 FS Parada de emergencia Mantenimiento...
  • Page 10 TwisTor 305 FS 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305 FS 的启动和运行 停止 TwisTorr 305 FS 紧急停止 维护 转子寿命 慢启动 清洗 处置方式 服务 使用方法 このマニュアルについて 定義と用語 警告の記号 安全性 適切な使用 10/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 11 TwisTorr 305 FS 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FS を停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 ソフトスタート クリーニング 廃棄 サービス Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Warning Symbols TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 11/258...
  • Page 12 TwisTorr 305 FS Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Stopping the TwisTorr 305 FS Emergency stop Maintenance Rotor life...
  • Page 13 Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Vent Accessories Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge Valve Installation Pump Used in Presence of Magnetic Fields Vibration Isolator Installation Controller Operations Accessories and Spare Parts TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 13/258...
  • Page 14 Contents 14/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    Collegamento della pompa del vuoto anteriore Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Arresto di TwisTorr 305 FS Arresto di emergenza Manutenzione Vita del rotore Soft Start Pulizia Smaltimento Servizio post vendita TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 15/258...
  • Page 16 TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni 16/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 17: Informazioni Su Questo Manuale

    Informazioni su questo manuale Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305 FS, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Page 18: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. 18/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 19: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di Avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi TwisTorr 305 FS. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
  • Page 20 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Messa a terra protettiva Non toccare Connettore principale Certificazione CE Certificazione CSA Limitazione della Certificazione delle Sostante Pericolose Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche 20/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 21: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Page 22: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio di TwisTorr 305 FS. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ▪...

  • Page 23: Attrezzatura Di Protezione

    ➔ Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. ➔ Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 23/258...
  • Page 24 ➔ Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere per l’arresto completo della pompa. ➔ Non operare direttamente all’interno della pompa. ➔ Se necessario, indossare guanti protettivi secondo la EN 420. 24/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 25: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    AVVERTENZA! Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 25/258...

  • Page 26: Transporto & Immagazzinamento

    Se per qualsiasi motivo viene superata la scadenza della conservazione, la ATTENZIONE! pompa deve essere restituita alla fabbrica. Per informazioni, contattare il rappresentante Agilent Vacuum locale e il servizio di assistenza. 26/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 27: Descrizione Del Prodotto

    Questa attrezzaura è destinata all'uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. TwisTorr 305 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.

  • Page 28: Installazione

    Installazione Installazione Preparazione per l’installazione TwisTorr 305 FS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul 305 FS che potrebbero essere causati dalla sua caduta.
  • Page 29 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Imballo del TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 29/258...

  • Page 30: Apertura

    Istruzioni per l’uso Apertura Apertura Non rimuovere l'adesivo e il cappuccio protettivo fino a quando non si è pronti ATTENZIONE! per installare la turbopompa sul sistema. Figura 2 30/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 31 Pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica ▪ temperatura: da +5 °C a +35 °C ▪ umidità relativa: 0 – 90 % (senza condensa). ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 31/258...

  • Page 32: Riparazione Di Twistorr 305 Fs

    TwisTorr 305 FS può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare TwisTorr 305 FS in una posizione stabile, montando la flangia di ingresso della turbopompa sulla controflangia del sistema, con una connessione in grado di resistere a una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse.

  • Page 33: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità per tutti i danni derivanti da un fissaggio improprio. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 33/258...

  • Page 34: Installazione Della Flangia Iso-K

    Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100 ▪ 4 per la flangia ISO 160 ▪ Stringere le fascette con una coppia di 22 Nm. 34/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 35: Installazione Della Flangia Conflat

    In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore. Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ATTENZIONE! ammaccature nella busta. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 35/258...

  • Page 36: Collegamento Della Pompa Del Vuoto Anteriore

    Collegamento della pompa del vuoto anteriore La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita su TwisTorr 305 FS. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.

  • Page 37: Avvio E Funzionamento Di Twistorr 305 Fs

    Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Per accendere TwisTorr 305 FS tramite i controller di bordo o remoto, collegare la pompa al controller, fornire al controller la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START” e "INTERLOCK" (che si trovano sull’interfaccia del controller).

  • Page 38: Arresto Di Twistorr 305 Fs

    Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L'uso di AVVERTENZA! questa modalità di arresto potrebbe causare guasti e/o danni alla pompa. L'uso improprio di questa modalità di arresto potrebbe invalidare la garanzia. 38/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 39: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione TwisTorr 305 FS non richiede manutenzione. Qualsiasi lavoro deve essere eseguito da personale autorizzato. Prima di eseguire qualsiasi intervento sul sistema, scollegarlo AVVERTENZA! dall'alimentazione, sfiatare la pompa con la valvola di sfiato, attendere che il rotore sia completamente fermo e attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°...

  • Page 40: Soft Start

    A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre). Pulizia La superficie esterna del 305 FS può essere pulita solo con un detergente delicato. 40/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 41: Smaltimento

    Capogruppo o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo aver verificato i termini e le condizioni di vendita contrattuali. Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 41/258...

  • Page 42: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo di richiesta di restituzione per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). 42/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 43: Gebrauchsanleitung

    Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS Stoppen des TwisTorr 305 FS Notausschaltung Wartung Rotordauer Sanftanlauf Reinigung Entsorgung Service TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 43/258...
  • Page 44 TwisTorr 305 FS Bedienungshandbuch 44/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 45: Über Dieses Handbuch

    Ausführlichere technische Informationen finden Sie im Kapitel “Betrieb”. 1. Dieses Handbuch enthält nützliche Informationen, damit alle Mitarbeiter, die HINWEIS den TwisTorr 305 FS verwenden, ihn sicher bedienen und für die gesamte Lebensdauer eine einwandfreie Funktion gewährleisten kann. 2. Bewahren Sie dieses Handbuch zusammen mit allen zugehörigen Veröffentlichungen an einem für alle Bediener/Wartungspersonal...

  • Page 46: Begriffsbestimmungen Und Terminologie

    Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf VORSICHT! aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. Hinweise sollen auf wichtige Informationen aufmerksam machen und nähere HINWEIS Informationen zu bestimmten Schritten enthalten. 46/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 47: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305 FS angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst...
  • Page 48 Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Schutzerdungsklemme Nicht berühren Verbindungsstück CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung Beschränkung gefährlicher Stoffe RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte 48/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 49: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Page 50: Unsachgemäße Verwendung

    Gebrauchsanleitung Unsachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305 FS ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ▪...

  • Page 51: Schutzausrüstung

    ➔ Tragen Sie kleine und mittlere Vakuumpumpen mit zwei Händen. ➔ Alle Geräte, die schwerer als 20 kg sind, sollten mit einer geeigneten Hebevorrichtung transportiert werden. ➔ Sicherheitsschuhe mit Stahlkappe gemäß Richtlinie EN 347 tragen. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 51/258...
  • Page 52 ➔ Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. ➔ Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben. ➔ Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen. 52/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 53: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist. Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, sind WARNUNG! die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten! TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 53/258...

  • Page 54: Transport Und Lagerung

    Wenn aus irgendeinem Grund die Haltbarkeitsdauer überschritten wird, muss die VORSICHT! Pumpe an das Werk zurückgeschickt werden. Bitte wenden Sie sich an den lokalen Agilent Vacuum Vertriebs- und Servicevertreter, um weitere Informationen zu erhalten. 54/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 55: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305 FS ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 60600 U/min) erzielt, die von einem Hochleistungselektromotor angetrieben wird.

  • Page 56: Installation

    Installation Installation Vorbereitung zum Einbau TwisTorr 305 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den 305 FS, die durch Herunterfallen verursacht werden können.
  • Page 57 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 1 TwisTorr 305 FS-Verpackung TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 57/258...

  • Page 58: Einrichten

    Gebrauchsanleitung Einrichten Einrichten Entfernen Sie den Klebstoff und die Schutzkappe erst, wenn Sie bereit sind, die VORSICHT! Turbopumpe am System zu installieren. Abbildung 2 58/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 59 Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ▪ Temperatur: von +5 °C bis +35 °C ▪ Relative Feuchtigkeit: 0-90% (nicht kondensierend). ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 59/258...

  • Page 60: Montage Von Twistorr 305 Fs

    Pumpe bei einem Rotorausfall vom System löst, was zu Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305 FS kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305 FS in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.

  • Page 61: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    305 FS dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 61/258...

  • Page 62: Installation Des Iso-K-Flansches

    Abbildung 3 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch ▪ 4 für ISO 160 Flansch ▪ Ziehen Sie die Klauenklemmen mit einem Drehmoment von 22 Nm an. 62/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 63: Installation Des Conflat-Flansches

    In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden. Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Beulen VORSICHT! am Gehäuse zu vermeiden. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 63/258...

  • Page 64: Anschluss Der Vorvakuumpumpe

    Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305 FS bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.

  • Page 65: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Twistorr 305 Fs

    Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS Um den TwisTorr 305 FS über die integrierten Steuerungen oder die Fernsteuerungen einzuschalten, schließen Sie die Pumpe an die Steuerung an, versorgen Sie die Steuerung mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale „START“...

  • Page 66: Stoppen Des Twistorr 305 Fs

    Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden. Die Verwendung dieses Stoppmodus kann zu Fehlern und/oder Schäden an der Pumpe führen. Die unsachgemäße Verwendung dieses Stoppmodus kann zum Erlöschen der Garantie führen. 66/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 67: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Der TwisTorr 305 FS ist wartungsfrei. Alle Arbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden. Bevor Sie Arbeiten an der Anlage ausführen, trennen Sie diese von der WARNUNG! Stromversorgung, entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil, warten Sie, bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die Oberflächentemperatur der Pumpe unter 50°...

  • Page 68: Sanftanlauf

    Technische Informationen - Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern). Reinigung Die Außenfläche des 305 FS darf nur mit einem milden Reinigungsmittel gereinigt werden. 68/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 69: Entsorgung

    Abfallsammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. Die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 69/258...

  • Page 70: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des Rücksendeformulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). 70/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 71: Mode D'emploi

    Installation de la bride ConFlat Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Arrêt du TwisTorr 305 FS Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor Démarrage progressif Nettoyage TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 71/258...

  • Page 72: Twistorr 305 Fs Notice De Mode D'emploi

    TwisTorr 305 FS Notice de mode d’emploi Mise au rebut Service 72/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 73: À Propos De Ce Manuel

    1. Le présent contient des informations utiles pour que tout le personnel NOTE utilisant le TwisTorr 305 FS puisse l’exploiter en toute sécurité et garantir une efficacité parfaite, pendant toute sa durée de vie. 2. Conserver le présent manuel, ainsi que toutes les publications connexes, dans un endroit accessible et connu de tous les opérateurs/du personnel...

  • Page 74: Définitions Et Terminologie

    Des messages de mise en garde s’affichent avant les procédures qui, si elles ne ATTENTION ! sont pas respectées, pourraient endommager l’équipement. Les notes visent à attirer l’attention sur des renseignements importants et à NOTE fournir plus de détails sur des étapes précises. 74/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 75: Symboles D'avertissement

    Symboles d’avertissement Symboles d’avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305 FS. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes :...
  • Page 76 Borne de mise à la terre de protection Ne pas toucher Connecteur principal Certification CE Certification CSA Restriction de la certification des substances dangereuses Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques 76/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 77: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non-respect des règles de sécurité...

  • Page 78: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TwisTorr 305 FS. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Page 79: Équipement De Protection

    ➔ Tout équipement de plus de 20 kg doit être transporté à l’aide d’un dispositif de levage approprié. ➔ Porter des chaussures de sécurité avec embout en acier conformément à la directive EN 347. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 79/258...
  • Page 80 ➔ Ne pas exploiter directement à l’intérieur de la bride à vide élevé. ➔ Si cela est nécessaire, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. 80/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 81: Directive De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires

    être libérée sur la pompe à laquelle elle est fixée. AVERTISSEMENT ! Pour éviter d’endommager l’équipement et de blesser le personnel exploitant, les instructions d’installation fournies dans le présent manuel doivent être rigoureusement respectées ! TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 81/258...

  • Page 82: Transport Et Entreposage

    Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la pompe ATTENTION ! doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. 82/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 83: Description Du Produit

    Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. Le TwisTorr 305 FS est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.

  • Page 84: Installation

    L’exposition normale à l’environnement ne peut pas endommager le NOTE TwisTorr 305 FS. Néanmoins, il est conseillé de garder le produit scellé dans son sac plastique jusqu’à ce qu’il soit installé dans le système, empêchant ainsi toute forme de pollution par la poussière.
  • Page 85 Mode d’emploi Installation Figure 1 Emballage du TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 85/258...

  • Page 86: Configuration

    Mode d’emploi Configuration Configuration Ne pas retirer l’adhésif et le capuchon de protection avant d’être prêt à installer ATTENTION ! la turbopompe sur le système. Figure 2 86/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 87 : 2 bars au-dessus de la pression ▪ atmosphérique température : de +5 °C à +35 °C ▪ humidité relative : 0 à 90 % (sans condensation). ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 87/258...

  • Page 88: Montage Du Twistorr 305 Fs

    Le TwisTorr 305 FS peut être installé dans n’importe quelle position. Fixer le TwisTorr 305 FS dans une position stable, en montant la bride d’entrée de la turbopompe sur la contre-bride du système, avec un raccord capable de résister à...

  • Page 89: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    Agilent, le 305 FS risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d’une mauvaise fixation. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 89/258...

  • Page 90: Installation De La Bride Iso-K

    Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100 ▪ 4 pour la bride ISO 160 ▪ Serrer les brides de serrage à un couple de 22 Nm. 90/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 91: Installation De La Bride Conflat

    Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur. Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter ATTENTION ! de créer des bosselures dans l’enveloppe. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 91/258...

  • Page 92: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire

    Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur le TwisTorr 305 FS. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide. Si un tuyau rigide est utilisé, toute vibration générée par la pompe mécanique doit être amortie par l’utilisation de soufflets.

  • Page 93: Démarrage Et Utilisation Du Twistorr 305 Fs

    Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS Pour allumer le TwisTorr 305 FS via les contrôleurs embarqués ou les contrôleurs distants, raccorder la pompe au contrôleur, fournir au contrôleur la tension d’alimentation appropriée, puis activer les signaux « START »...

  • Page 94: Arrêt Du Twistorr 305 Fs

    Ce mode ne doit être utilisé qu’en cas d’urgence. L’utilisation de ce mode d’arrêt peut entraîner des défauts et/ou des dommages à la pompe. Une utilisation inappropriée de ce mode d’arrêt pourrait annuler la garantie. 94/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 95: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 305 FS ne nécessite aucun entretien. Tout travail doit être effectué par un personnel autorisé. Avant d’effectuer des travaux sur le système, le mettre hors tension, AVERTISSEMENT ! purger la pompe avec la valve de purge, attendre que le rotor soit complètement arrêté...

  • Page 96: Démarrage Progressif

    – Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques – Interconnexions et significations des fenêtres). Nettoyage La surface extérieure du 305 FS ne peut être nettoyée qu’avec un détergent doux. 96/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 97: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour en savoir plus, consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 97/258...

  • Page 98: Service

    à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de demande de retour pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). 98/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 99: Instrucciones De Uso

    Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Parada de la TwisTorr 305 FS Parada de emergencia Mantenimiento...

  • Page 100: Twistorr 305 Fs Manual De Istrucciones

    TwisTorr 305 FS Manual de istrucciones 100/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 101: Acerca Del Manual

    Validez El presente manual contiene las instrucciones para los usuarios de la TwisTorr 305 FS con particular referencia a las nociones relativas a la seguridad, funcionamiento y mantenimiento de primer nivel, limitadas a las operaciones de mantenimiento de las que es responsable el usuario.

  • Page 102: Definiciones Y Terminología

    Las notas tienen el fin de atraer la atención a la información importante y NOTA proporcionar más detalles acerca de pasos específicos. 102/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 103: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente lista contiene símbolos que aparecen en conjunción con las advertencias de la TwisTorr 305 FS. El peligro que describen también se muestra. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación o el instrumento mismo son los siguientes: Declaración Europea...
  • Page 104 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Terminal protectora de tierra No tocar Conector principal Certificación CE Certificación CSA Certificación de Restricción de Sustancias Peligrosas Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico 104/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 105: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Page 106: Uso Incorrecto

    Instrucciones de Uso Uso correcto Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305 FS. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ▪...

  • Page 107: Equipo De Protección

    ➔ Cualquier equipo de peso mayor a 20 kg deberá ser transportado utilizando un dispositivo de elevación. ➔ Lleve calzado de seguridad con punta de acero según la directiva EN 347. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 107/258...
  • Page 108 ➔ No opere directamente dentro de la brida de alto vaciado. ➔ Si es necesario lleve guantes de protección según EN 420. 108/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 109: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Para evitar daños al equipo y evitar lesiones al personal operativo se deben ¡ADVERTENCIA! seguir estrictamente las instrucciones indicadas en el presente manual. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 109/258...

  • Page 110: Transporte Y Almacenamiento

    Si, por cualquier motivo, la vida útil es excedida, la bomba deberá ser devuelta a ¡PRECAUCIÓN! la fábrica. Por favor, contacte con el representante local de Ventas y Servicios de Vacío de Agilent para más información. 110/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 111: Descripción Del Producto

    Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305 FS es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.

  • Page 112: Instalación

    Instalación Instalación Preparación para instalación La TwisTorr 305 FS se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos a la 305 FS que podrían ser causados al dejarla caer.
  • Page 113 Instrucciones de Uso Instalación Figura 1 Embalaje de la TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 113/258...

  • Page 114: Puesta En Marcha

    Instrucciones de Uso Puesta en marcha Puesta en marcha No extraiga la tapa adhesiva y protectora hasta que esté preparado para ¡PRECAUCIÓN! instalar la turbobomba en el sistema. Figura 2 114/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 115 2 bar por encima de presión atmosférica ▪ temperatura: de +5 °C a +35 °C ▪ humedad relativa: 0 – 90 % (no condensante). ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 115/258...

  • Page 116: Montaje De La Twistorr 305 Fs

    La TwisTorr 305 FS puede ser instalada en cualquier posición. Fije la TwisTorr 305 FS en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión...

  • Page 117: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Agilent, es posible que la 305 FS se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará ninguna responsabilidad por daños resultantes de una sujeción incorrecta. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 117/258...

  • Page 118: Instalación De La Brida Iso-K

    Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100 ▪ 4 para brida ISO 160 ▪ Apriete las pinzas de garra con una torsión de 22 Nm. 118/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 119: Instalación De La Brida Conflat

    En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior. Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la ¡PRECAUCIÓN! envoltura. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 119/258...

  • Page 120: Conexión De La Bomba Pre-Vaciado

    La TwisTorr 305 FS está caracterizada por su tasa de compresión alta y por sus NOTA vapores de aceite. Cuando utilice una bomba mecánica sellada con aceite, es aconsejable instalar un colector adecuado entre la turbobomba y la bomba de prevacío para evitar que se salga el aceite o el particulado de las bombas secas.

  • Page 121: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Twistorr 305 Fs

    Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Para encender el TwisTorr 305 FS a través de los controladores abordo o los mandos a distancia, conecte la bomba al controlador, proporcione la tensión de alimentación correcta al controlador y actúe en las señales "START"...

  • Page 122: Parada De La Twistorr 305 Fs

    Este modo debe ser utilizada solo en caso de emergencia. El uso de este modo de parada podría llevar a fallos y/o daños en la bomba. El uso indebido de este modo de parada podría anular la garantía. 122/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 123: Mantenimiento

    Instrucciones de Uso Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 305 FS no requiere ningún mantenimiento. Cualquier trabajo debe ser realizado por personal autorizado. Antes de realizar cualquier trabajo en el sistema, desconecte de la fuente ¡ADVERTENCIA! de alimentación, descargue la bomba con la válvula de descarga, espere hasta que el rotor esté...

  • Page 124: Arranque Suave

    Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Limpieza La superficie exterior de la 305 FS puede ser limpiada con detergente suave solamente. 124/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 125: Eliminación

    Empresa matriz o un minorista, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de comprobar los términos contractuales y las condiciones de venta. Para más información consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 125/258...

  • Page 126: Servicio

    Es obligatorio completar la Solicitud de Devolución para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). 126/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 127: 使用说明

    使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TwisTor 305 FS 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305 FS 的启动和运行 停止TwisTorr 305 FS 紧急停止 维护 转子寿命 慢启动 清洗 处置方式 服务 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 127/258...
  • Page 128 TwisTorr 305 FS 用户手册 128/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 129: 关于这本手册

    使用说明 关于这本手册 关于这本手册 有效性 本手册列出了TwisTorr 305 FS的用户使用说明，尤其是有关安全、操作 和一级维护的概念，仅限于用户负责的维护操作。 一些特定章节包含与更高级别的维护（经过专门培训的维护操作人员才 能操作）有关的特定规定，用户不得执行此类维护操作。 有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。 有关更详细的技术使用，请参阅"操作"章节。 1. 本手册包含实用的信息，以确保所有使用 TwisTorr 305 FS 的人员都能 注意 安全地操作它，并确保其使用寿命达到最高效率。 2. 将本手册以及所有相关出版物保存在所有操作员/维修人员都知道的 无障碍位置。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 129/258...

  • Page 130: 定义和术语

    使用说明 定义和术语 定义和术语 警告、警告和注释的定义 本手册的一些重要参考资料会以对比色突出显示和框出。 警告消息让操作员特别注意特定的程序或操作，如果执行不当，可能导 警告！! 致严重的人身伤害。 小心消息会在操作过程之前显示，如果未注意到，可能会损坏设备。 小心！ 注意旨在提醒人们注意重要信息，并提供有关具体步骤的更多详细信 注意 息。 130/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 131: 警告符号

    使用说明 警告符号 警告符号 以下是在TwisTorr 305 FS上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符 号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如 下： 欧洲符合性声明 请勿触摸 直流 电源关闭 一般危险 生产现场 电源开启 保护接地端子 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 131/258...
  • Page 132 使用说明 警告符号 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关 操作或维修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。 保护接地端子 请勿触摸 主连接器 CE 认证 CSA 认证 有害物质认证限制 RoHS 中国认证 废弃电气和电子设备 132/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 133: 正确使用

    使用说明 安全 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 所规定的信息，这些信息对于遵守和遵守 安全法规以及机器的具体使用至关重要。 如不遵守本手册中包含的这些说明和其他说明，可能会导致设计阶段设 想的安全条件效率低下，并导致操作机器的人员发生事故。 对由于未遵守技术文档中指示的安全规则而造成的机器损坏或操作人员 或第三方的人身安全意外，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担 全部责任。 正确使用 本手册包含重要的警告和安全说明，以确保设备安全工作。 本手册中描述的产品仅针对说明中指定的应用领域。本手册还提供了有 关产品应用和操作基本要求的指示，以及为保证正常运行可采取的安全 措施。对本手册中未描述的应用或未遵守基本要求和安全措施的应用， 安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不提供任何保证或承担任何责任。 本产品只能由能够在不造成损坏或伤害的条件下采取必要安全措施的合 格 人员使用。与产品一起使用的任何附件和设备必须由安捷伦科技公司 (Agilent Technologies) 提供或批准。 任何调整或维护操作必须由了解风险的专业技术人员执行。 产品的维修只能由安捷伦授权的人员执行。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 133/258...

  • Page 134: 使用不当

    在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体（参见"泵与腐蚀性和氧 ▪ 化性气体一起使用"的章节） 泵送爆炸气体 ▪ 泵送冷凝蒸汽 ▪ 泵送液体 ▪ 泵送粉尘 ▪ 气体产量过高的情况下作业 ▪ 前真空压力过高的情况下作业 ▪ 使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作 ▪ 绝缘热输入水平过高的情况下作业 ▪ 磁场过高的情况下作业 ▪ 使用过高的通风速率进行通风 ▪ 使用真空泵来产生压力 ▪ 在电离辐射区域运行设备 ▪ 在潜在爆炸区作业 ▪ 在冲击应力、振动或周期性力会影响设备的系统中使用设备。 ▪ 134/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 135: 防护设备

    使用说明 防护设备 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作 305 FS 时和安装过程中必须穿防事故鞋。 在维护或安装过程中有害物质对健康的危害 警告！ 根据工艺特点，真空泵、部件或工作流体可能被有毒、反 应性或放射性物质污染。 ➔ 在维护和修理期间或重新安装时，请佩戴合适的防护 设备。 警告！ 掉落物体造成人身伤害的风险 手动运输真空泵时，存在负载滑倒和坠落的危险。 ➔ 双手携带中小型真空泵。 ➔ 任何重量超过 20 公斤的设备都应使用合适的起重装置 进行搬运。 ➔ 根据指令 EN 347，请穿带钢脚趾盖的安全鞋。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 135/258...
  • Page 136 使用说明 防护设备 锋利边缘有划伤的风险 小心！ 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘。 ➔ 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操 作之前，等待泵完全停止。 ➔ 请勿直接在高真空法兰内操作。 ➔ 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 136/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 137: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 涡轮分子泵安全指南 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加 上转子拥有特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的 任何位置。 警告！ 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装 说明！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 137/258...

  • Page 138: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以 避免出现冷凝的情况： 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件： ▪ 温度范围： -40 °C 至 70 °C ▪ 相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。 ▪ 涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月。 ▪ 涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动。 ▪ 涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动。 ▪ 如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷 小心！ 伦真空销售和服务代表以了解相关信息。 138/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 139: 产品描述

    使用说明 产品描述 产品描述 本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305 FS 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能 够泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。它 不含污染剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 详细信息可参考"技术信息"章节。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 139/258...

  • Page 140: 安装准备

    使用说明 安装 安装 安装准备 TwisTorr 305 FS 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发 生损坏的迹象，请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 305 FS 而对 305 FS 造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以 便在存放时间过长或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合 EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。 为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使 小心！ 用手套或其他合适的防护装置。 正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305 FS。不过，还是建议将其密封在 注意 塑料袋中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的 污染。 140/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 141 使用说明 安装 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 141/258...
  • Page 142 使用说明 设置 设置 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心！ 142/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 143 使用说明 设置 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰 尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大环境压力： 比大气压力高 2 bar ▪ 温度：从 +5 °C 到 +35 °C ▪ 相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。 ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 143/258...

  • Page 144: Twistor 305 Fs 的安装

    TwisTor 305 FS 的安装 警告！ 如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离， 从而导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305 FS 可安装在任何位置。将TwisTorr 305 FS 固定在稳定位置， 将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周围 1000 Nm的扭矩。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定 在真空室上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 TwisTorr 305 FS 不能通过其底座进行固定 小心！ 144/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 145: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。 警告！ 必须以承受“使用说明”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要注意 夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然 警告！ 停止时， 305 FS 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组 合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 145/258...

  • Page 146: Iso-K 法兰的安装

    使用说明 ISO-K 法兰的安装 ISO-K 法兰的安装 对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具 固定两个法兰（可选使用保护屏）。 使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰 ▪ 4 表示 ISO 160 法兰 ▪ 以 22 Nm 的扭矩拧紧夹钳。 146/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 147: Conflat 法兰的安装

    使用说明 ConFlat 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使 用保护屏）。 使用所需数量的螺钉： 16 表示 CFF 6" ▪ 20 表示 CFF 8" ▪ 连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉。 对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。 为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出 的螺母上以及螺母与法兰之间的螺纹上。 在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。 拧紧螺母和螺栓时应小心谨慎，避免在部件中造成凹痕。 小心！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 147/258...

  • Page 148: 前真空泵的连接

    使用说明 前真空泵的连接 前真空泵的连接 应使用 TwisTorr 305 FS 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵 的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须 使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。 TwisTorr 305 FS 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时， 注意 建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或 颗粒回流。 148/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 149: Twistorr 305 Fs 的启动和运行

    TwisTorr 305 FS 板载 24V 87-901-060-01 X3507-64131 87-901-060-01 TwisTorr 305 FS 板载 110/230V X3506-64130 87-901-059-01 TwisTorr 305 FS AG 远程 RS232/485 X3506-64131 87-901-059-01 TwisTorr 305 FS AG 远程 Profibus 警告！ 泵的初始启动将处于"慢启动"模式;有关此模式的详细信息，请参阅第 152 页的专用章节。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 149/258...

  • Page 150: 停止 Twistorr 305 Fs

    使用说明 停止 TwisTorr 305 FS 停止 TwisTorr 305 FS 如要在泵运行时停止泵，必须对驱动泵且与泵相连的控制单元执行操 。 作 可以通过串行通信命令以及远程 信号停止泵 请参阅控制器的相关说明手册，以便找到相应的说明集（远程：技术信息 -控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含义的章 ）。 节 紧急停止 通过卸下电源可以实现紧急停止。 警告！ 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/ 或损坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 150/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 151: 转子寿命

    维护 维护 TwisTorr 305 FS 不需要任何维护。任何工作必须由授权人员进行。 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气， 警告！ 在转子完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的 系统。发送订单后，用于替换的305 FS将被寄出。 然后，您可以将出现 故障的305 FS放入箱子以退回。 在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送 注意 本说明手册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入 相同的副本。 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置。 转子寿命 在理论的基础上估计，305 FS涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从停止到全 速再回到停止的405000次循环。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在 使用 17 年后退回泵以进行维护。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 151/258...

  • Page 152: 慢启动

    使用说明 慢启动 慢启动 为确保泵轴承的正确润滑，在第一次加速时，泵必须在"慢启动"模式 警告! 。 下启动 这种启动方式（慢启动）可确保泵平稳地达到转速，并对轴承进行适 。 当的润滑 连接到泵的控制单元具有运行泵的默认设置 （仅在第一次启动控制单元时）。 如果将新泵与使用过的控制单元一起使用，请记住手动设置慢启动模式。 与标准启动相比，慢启动模式需要更长的时间;用户必须等待泵完全达 。 到转速，然后才能停止泵 。 第一次启动后，控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵 长时间不活动（60天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的 润滑脂，有必要通过慢启动模式再次启动泵。 请参阅控制器的相关说明手册，以找到激活"慢启动"模式的适当说明集（远 警告! 程：技术信息-控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含 义的章节）。 清洗 305 FS 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 152/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 153: 处置方式

    使用说明 处置方式 处置方式 标签中的"WEEE"徽标的含义 以下符号根据 EC WEEE（废弃电气和电子设备）指令进行应用。该符号 （仅在欧洲共同体国家有效）表示其适用的产品不得与普通家庭或工业 废物一起处理，而必须送往差别化废物收集系统。因此，请最终用户在 检查合同销售条款和条件后，联系设备的供应商（无论是母公司还是零 售商）启动收集和处置流程。 有关详细信息，请参阅： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 153/258...
  • Page 154 使用说明 服务 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件 至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写退货申请表才能将泵退回到安捷伦维修部门（在本手册末尾会 提供）。 154/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 155: 使用方法

    このマニュアルについて 有効性 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 移送＆保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305 FS 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlatフランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FSを停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 ソフトスタート TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 155/258...

  • Page 156: Twistorr 305 Fs ユーザーマニュアル

    TwisTorr 305 FS ユーザーマニュアル クリーニング 廃棄 サービス 156/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 157: このマニュアルについて

    使用方法 このマニュアルについて このマニュアルについて 有効性 このマニュアルは、特に安全、操作、またユーザーが負うべきメンテ ナンスの操作に限定される第一レベルのメンテナンスについての理解 に関係するTwisTorr 305 FS の使用者への説明を記載しています。 指定のセクションに説明されていますが、高いレベルのメンテナンス （メンテナンス操作に特定の訓練を受けた者）に関係する特定の規定 のメンテナンス操作は、使用者が実行してはいけません。 正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認く ださい。 更に詳細な技術的な使用には、「操作」の章をご確認ください。 1. このマニュアルは、有益な情報を含んでいるため、全ての TwisTorr 注 305 FS の使用者は、製品寿命にわたり安全に操作することができ、 また完全な能率性を保証します。 2. 全ての操作者/メンテナンス担当者が承知している入手しやすい場 所に、全ての関係する書類と共にこのマニュアルを保管してくだ さい。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 157/258...

  • Page 158: 定義と用語

    使用方法 定義と用語 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトさ れ枠で囲ってあります。 「警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人 警告!! 身障害につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の 必要性を示しています。 「注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が 注意! 生じる可能性を示しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細 注 な情報を提供しています。 158/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 159: 警告の記号

    使用方法 警告の記号 警告の記号 下記は、TwisTorr 305 FS上の警告と併せて表示される記号のリストで す。危険性の説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号 と供に示されうる記号の意味は下記の通りです： CE 適合宣言書 直流 触らないでください 電源オフ 包括的な危険 製造所 電源オン 保護接地端子 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 159/258...
  • Page 160 使用方法 警告の記号 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることが あります。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正し い工程のために、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してく ださい。 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。 保護接地端子 触らないでください 主要コネクター 近距離無線通信(スマートフォンのアンテナ) CE 認証 CSA 認証 EU RoHS 指令認証 中国 RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関する EU WEEE 指令 160/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 161: 安全性

    の遵守と監督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC） の情報を含みます。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場 合、設計時に予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作す る者へ事故が生じる可能性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安 全規定の不順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の 身体的安全への損害・損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき 重要な警告と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分 野への活用に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活 用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適 用される安全対策を提供します。アジレント・テクノロジー株式会社 は、このマニュアル内説明されているもの以外の適用、または必須の 要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せ ず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を 講じることができる有資格者のみ使用することができます。製品と供 に使用されたいかなる付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株 式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知して いる専門家の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われ なければなりません。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 161/258...

  • Page 162: 不適切な使用

    性ガスや酸化ガスとともに使用されるポンプ」を参照ください） 爆発性のガスをポンプすること ▪ 凝縮した蒸気をポンプすること ▪ 液体をポンプすること ▪ 粉末をポンプすること ▪ 不適切な高ガス量での操作 ▪ 不適切な高圧補助真空での操作 ▪ 実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリテ ▪ ィでの操作 不適切な高レベルの断熱材料での操作 ▪ 不適切な高い磁界での操作 ▪ 不敵な高い通気率での通気 ▪ 圧力を生じさせるための真空ポンプの使用 ▪ 電離放射線の範囲内での機器の操作 ▪ 潜在的に爆発性がある範囲での操作 ▪ 衝撃のある圧力や振動または定期的な力が機器に影響するシステム ▪ 内での機器の使用 162/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 163: 保護用装備

    条件に従うものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は 305 FSを操作している時や取り付けの時に事故防 止の靴を着用しなくてはなりません。 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康 警告! への危険 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または 操作液は、有害物質、反応性物質、もしくは放射性物質 に汚染される場合があります。 ➔ メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には 適切で十分な保護装備を着用してください。 装置の落下による損傷のリスク 警告! 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険 があります。 ➔ 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 ➔ 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を 使用して運搬されなければなりません。 ➔ 指令 EN 347 に従ったつま先キャップがスチール製の 安全靴を着用してください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 163/258...
  • Page 164 使用方法 保護用装備 鋭い縁による損傷のリスク 注意! ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常 に鋭くなっています。 ➔ ポンプを修理する前、またはシステムからポンプの いかなる取り付け/取り外しをする前に、ポンプの完全な 静止をお待ちください。 ➔ 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 ➔ 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用 してください。 164/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 165: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    使用方法 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらロー ターのt特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネ ルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが 固定されているどの部分へも放出されています。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載さ 警告! れた取り付けの指示に厳密に従ってください！ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 165/258...

  • Page 166: 移送＆保管

    アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証する ため、凝縮を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりま せん： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過して ▪ はいけません： 温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで ▪ 相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし） ▪ ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です。 ▪ お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ ▪ 分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりません。 ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは ▪ 常にゆっくりと開始されなければなりません。 もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場 注意! へ返送されなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービ ス担当者へ情報をお問い合わせください。 166/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 167: 製品説明

    使用方法 製品説明 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象と しています。 TwisTorr 305 FS は、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガ ス混合物のどんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空 装置です。 ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大 60600 rpm）により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適で す。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されていま す。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 167/258...

  • Page 168: 取り付け

    使用方法 取り付け 取り付け 取り付けの準備 TwisTorr 305 FSは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこ れに輸送中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売 営業所へお問い合わせください。 落下等による305 FS への突然の衝撃は避けてください。長期間の保存 または輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意く ださい。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は 100% リサイクルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守し ています。 ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取 注意! り扱わないでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用く ださい。 通常環境への露出は、TwisTorr 305 FS を損傷しません。しかしながら、 注 ちり・ホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り 付けられるまでビニールの袋に密閉して保管することが推奨されま す。 168/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 169 使用方法 取り付け 図１ TwisTorr 305 FS の梱包 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 169/258...

  • Page 170: セットアップ

    使用方法 セットアップ セットアップ システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保 注意! 護キャップを取り外さないでください。 図２ 170/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 171 使用方法 セットアップ この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質 （雨、氷、雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、ま たは爆発の可能性がある環境、または燃えやすい環境下では使用しな いでください。 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけ ません： 最大環境気圧：大気圧上 2 バール ▪ 温度：+5 °C から +35 °C まで ▪ 相対湿度： 0 – 90 % （結露なし） ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 171/258...

  • Page 172: Twistorr 305 Fs 実装

    TwisTorr 305 FS 実装 これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際 警告! にシステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が 損害を受けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性がありま す。 TwisTorr 305 FS はどんな位置でも取り付けることができます。TwisTorr 305 FS を暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接 続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめま す。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントの ハードウェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりませ ん。 更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧くださ い。 TwisTorr 305 FS はその土台では固定できません。 注意! 172/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 173: 高真空フランジの接続

    使用方法 高真空フランジの接続 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空 フランジを留めているハードウェアにより吸収されなければいけませ ん。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけま せん。 必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法 警告! でポンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、 材料、ボルト、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空 警告! チェンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に 305 FS がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフ ランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切 な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いませ ん。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 173/258...

  • Page 174: Iso-K フランジの取り付け

    使用方法 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデ ルIC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプ ションとして保護スクリーンを使用できます）。 図３ 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個 ▪ ISO 160 フランジ – 4個 ▪ クロウクランプは、22 Nm のトルクできつく締めてください。 174/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 175: Conflat フランジの取り付け

    ジをネジで固定します（オプションとして保護スクリーンを使用でき ます）。 図４ 必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個 ▪ CFF 8” – 20個 ▪ • ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合う まで引き続き締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締め ます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用する ことを推奨します。 組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温 潤滑剤をフランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間 へ注入できます。 場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。 ナットとボルトを締めるときは、エンベロープにへこみができないよ 注意! うに注意してください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 175/258...

  • Page 176: フォア真空ポンプの接続

    使用方法 フォア真空ポンプの接続 フォア真空ポンプの接続 フォアラインの接続は、TwisTorr 305 FS 上に提供されるKF 16 NW フラ ンジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空 定格ホースまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使 用された場合、機械ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使 用により減衰されなければなりません。 TwisTorr 305 FS は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油 注 密封式ポンプを使用する時、 オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるため に、 ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けるこ とを推奨します。 176/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 177 TwisTorr 305 FS 搭載 24V 87-901-060-01 TwisTorr 305 FS 搭載 110/230V X3507-64131 87-901-060-01 TwisTorr 305 FS AG リモート RS232/485 X3506-64130 87-901-059-01 TwisTorr 305 FS AG リモート Profibus X3506-64131 87-901-059-01 ポンプの最初の起動開始は、「ソフトスタート」モードです；このモ 警告! ードのより詳細な情報は、特化したセクションの 180 ページを参照し てください。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 177/258...

  • Page 178: Twistorr 305 Fs を停止する

    TwisTorr 305 FS を停止する TwisTorr 305 FS を停止する ポンプが作動している時にポンプを停止するには、ポンプを駆動して おり、それに接続されているコントロールユニットを作動してくださ い。 シリアル通信コマンドやリモートI/O信号を経由してポンプを停止する ことも可能です。 一連の適切な使用方法を探すには、コントローラーの関連する説明マ ニュアルを参照してください(リモートについて： 技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意味；搭載について ；技術的情 報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味)。 緊急停止 電源供給を切ることにより緊急停止します。 これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使 警告! 用は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。こ の停止モードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 178/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 179: メンテナンス

    システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気 警告! 弁でポンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面 温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障した システムを取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレ ント最新交換サービス」を利用することができます。交換の305 FS は、ご注文がなされた時に郵送されます。そして、交換の305 FSが届 いた箱に故障した305 FSを入れて返送してください。 製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、 注 この説明マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入 し、現地の販売事務所へ送信する必要があります。システムの梱包に、 郵送する前に同フォームのコピーを入れてください。 もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の 条例に従うようご確認ください。 ローターの寿命 理論的評価による305 FS ターボ分子ポンプローターの疲労抵抗は、停 止状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルで す。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れる と、アジレントは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品 することを推奨します。 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 179/258...

  • Page 180: ソフトスタート

    は、手動でソフトスタートモードを設定することを忘れないでくだ さい。 ソフトスタートモードは、標準の起動開始よりも時間がかかりま す；使用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるま で待たなければなりません。 初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフト スタートモードにはなりません。 長期間の不稼働状態（60日間またはそれ以上）の後、軸受に残存して いる潤滑油の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモー ドでポンプを開始する必要があります。 「ソフトスタート」モダリティを有効にする一連の適切な使用方法 警告! を探すには、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照して ください（リモートについて： 技術的情報の章 – コントローラー 接続 & ウィンドウの意味；搭載について ；技術的情報の章 – 相互 接続 & ウィンドウの意味）。 クリーニング 305 FSの外側表面 は中性洗剤でのみ、お手入れをすることができま す。 180/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 181 使用方法 廃棄 廃棄 ラベル上に表示された「WEEE」ロゴの意味 下記の記号はEC WEEE指令（電気電子廃棄物 指令）に従い適用された ものです。この記号（欧州諸共同体でのみ有効）は、製品は通常の家 庭ゴミまたは産業廃棄物と一緒に廃棄されてはいけないこと、また分 化された廃棄物収集システムへ送られなければいけないことを示しま す。従って、エンドユーザーは、販売の契約条件を確認した後に、収 集と廃棄工程を始めるために、親会社かもしくは小売業者であろう と、機器の供給者へ問い合わせることが推奨されます。 さらなる情報は下記をご確認ください： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 181/258...

  • Page 182: サービス

    使用方法 サービス サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地 代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 返品フォームの申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポン プをアジレント・テクノロジー株式会社へ返送する必要があります。 （ このマニュアルの最後に提供されています）。 182/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 183: Instructions For Use

    TwisTorr 305 FS Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Stopping the TwisTorr 305 FS Emergency stop Maintenance Rotor life...

  • Page 184: Twistorr 305 Fs User Manual

    TwisTorr 305 FS User Manual 184/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 185: About This Manual

    About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305 FS, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Page 186: Definitions And Terminology

    Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION! cause damage to the equipment. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. 186/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 187: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305 FS. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may...
  • Page 188 The following symbols appear on the instrument for your information. Protective Ground Terminal Do Not Touch Main connector CE certification CSA certification Restriction of Hazardous Substances certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment 188/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 189: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non- observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Page 190: Improper Use

    Instructions for Use Proper Use Improper Use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305 FS. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ▪...

  • Page 191: Protective Equipment

    ➔ Carry small and mid-size vacuum pumps two-handed. ➔ Any equipment heavier than 20 kg should be trasnported using a suitable lifting device. ➔ Wear safety shoes with steel toe cap according to directive EN 347. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 191/258...
  • Page 192 ➔ Do not operate directly inside the high vacuum flange. ➔ If necessary wear protective gloves according to EN 420. 192/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 193: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 193/258...

  • Page 194: Transport & Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for information. 194/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 195: Product Description

    This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305 FS is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.

  • Page 196: Installation

    Installation Installation Preparation for Installation The TwisTorr 305 FS is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the 305 FS that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Page 197 Instructions for Use Installation Figure 1 TwisTorr 305 FS packaging TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 197/258...

  • Page 198: Set-Up

    Instructions for Use Set-up Set-up Do not remove the adhesive and protective cap until you are ready to install the CAUTION! turbopump to the system. Figure 2 198/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 199 During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation: maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure ▪ temperature: from +5 °C to +35 °C ▪ relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing). ▪ TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 199/258...

  • Page 200: Twistorr 305 Fs Mounting

    The TwisTorr 305 FS can be installed in any position. Fix the TwisTorr 305 FS in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.

  • Page 201: Connection Of The High Vacuum Flange

    Agilent, there is the chance of the 305 FS twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 201/258...

  • Page 202: Installation Of Iso-K Flange

    Figure 3 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange ▪ 4 for ISO 160 flange ▪ Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 202/258...

  • Page 203: Installation Of Conflat Flange

    In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 203/258...

  • Page 204: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305 FS. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be damped through the use of bellows.

  • Page 205: Startup And Operation Of The Twistorr 305 Fs

    Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS To turn on the TwisTorr 305 FS via the on board controllers or the remote controllers, connect the pump to the controller, supply the controller with the proper supply voltage and then act on the "START"...

  • Page 206: Stopping The Twistorr 305 Fs

    Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Stopping the TwisTorr 305 FS To stop the pump while it is running, in is necessary to act on the control unit which is driving the pump and which is connected to it.

  • Page 207: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 305 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the power WARNING! supply, vent the pump with the vent valve, wait until the rotor is completely stopped and wait until the surface temperature of the pump is below 50°...

  • Page 208: Soft Start

    (Remote: Chapter Technical Information – Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Cleaning The exterior surface of the 305 FS may be cleaned with mild detergent only. 208/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 209: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 209/258...

  • Page 210: Service

    Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). 210/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 211: Technical Information

    Vent Accessories Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge Valve Installation Pump Used in Presence of Magnetic Fields Vibration Isolator Installation Controller Operations Accessories and Spare Parts TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 211/258...
  • Page 212 Technical Information 212/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 213: Description Of The Twistorr 305 Fs

    The connection of the fore-vacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 – optional). The TwisTorr 305 FS is available in various models that differ in the high vacuum flange. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 214 TWISTORR 305-K FS ISO100K STD WATER COOLING X3513-64013 TWISTORR 305-K FS CFF6" STD WATER COOLING X3513-64014 TWISTORR 305-K FS ISO160K STD WATER COOLING X3513-64015 TWISTORR 305-K FS CFF8" STD WATER COOLING 214/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 215 Description of the TwisTorr 305 FS The following figures shows the 8 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. Figure 5 Model X3513-64008 Figure 6 Model X3513-64009 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 215/258...
  • Page 216 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 7 Model X3513-64010 Model X3513-64011 Figure 8 216/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 217 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 9 Model X3513-64012 Figure 10 Model X3513-64013 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 217/258...
  • Page 218 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Figure 11 Model X3513-64014 Figure 12 Model X3513-64015 218/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 219: Technical Specification

    Start-up time  3 minutes (it can be longer in case of soft start active) Recommended forepump Mechanical pump: DS102, DS302 Dry Pump: IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP10 Operating position TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 219/258...
  • Page 220 3000 m • 50 Gauss (5 mT) in the transveral direction The maximum magnetic field strengths allowed for Agilent turbo pumps are: • 100 Gauss (10 mT) in the axial direction 220/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 221 Machinery Directive 2006/42/EC Electromagnetic Compatibility Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU When the TwisTorr 305 FS has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305 FS on.

  • Page 222: Twistorr 305 Fs Outline

    Technical Information TwisTorr 305 FS Outline TwisTorr 305 FS Outline The following figures show the TwisTorr 305 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 14 TwisTorr 305 FS ISO 100 (X3513-64008), + AIR COOLING KIT 222/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 223 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 15 TwisTorr 305 FS CFF6, (X3513-64009), + AIR COOLING KIT TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 223/258...
  • Page 224 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 16 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64010) + AIR COOLING KIT 224/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 225 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 17 TwisTorr 305 FS CFF8 (X3513-64011) + AIR COOLING KIT TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 225/258...
  • Page 226 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 18 TwisTorr 305 FS ISO 100K (X3513-64012) 226/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 227 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 19 TwisTorr 305 FS + CFF6 (X3513-64013) TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 227/258...
  • Page 228 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 20 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64014) 228/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 229 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline TwisTorr 305 FS + CFF8 (X3513-64015) Figure 21 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 229/258...
  • Page 230 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Figure 22 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 305 FS pump 230/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 231 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 305 FS pump Figure 23 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 231/258...
  • Page 232 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline Graph of Iso Flow-Iso Power for TwisTorr 305 FS with Figure 24 Nitrogen gas (water cooling version with water temperature in range 15°C-20°C, backing pump 11.6 m 232/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 233: Interconnections

    We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the TwisTorr 305 FS. Use a separate insulated green/yellow conductor, and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump.

  • Page 234: Pump Operations

    Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’) ▪ 9699304 (CFF 8’’) ▪ X3500-68000 (ISO 100) ▪ X3500-68001 (ISO 160) ▪ 234/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 235 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 28 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 235/258...
  • Page 236 Technical Information Inlet screen installation Figure 29 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. 236/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 237: Air Cooling Kit Installation

    119 x 119 x 32 mm (4.7 x 4.7 x 1.3 in.) ▪ power: 2.6 W ▪ Figure 30 The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 237/258...
  • Page 238 Technical Information Inlet screen installation To fix the fan to the TwisTorr 305 FS case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan kit to the suitable bracket by means of the furnished screws Fix the bracket to the pump body.

  • Page 239: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)

    The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 32 Model 9699337 Figure 33 Model 9699347 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 239/258...
  • Page 240 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the following figure. Figure 35 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 240/258...
  • Page 241 50 l/h (0.22 GPM). The max water inlet pressure must be lower than 5 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductivity NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is recommended. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 241/258...

  • Page 242: Vent Accessories

    Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305 FS compatible Vent Valve mod. 9699834 – 9699834M006 – 9699844 – 9699845 – 9699846 – 9699847. Figure 36 Vent valve for Remote Controller...
  • Page 243 This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the controller software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 38 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 243/258...
  • Page 244 Figure 39 The vent kit shown in the picture is the 9699834 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 244/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 245: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases

    Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve open, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept open, the backing pump should be left operating. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 245/258...
  • Page 246 Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge layout Figure 40 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 246/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 247: Purge Valve Installation

    Figure 41 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 42 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 247/258...

  • Page 248: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    9699334 for CFF 6” flange; ▪ model 9699335 for CFF 8” flange. ▪ They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 305 FS to the system by a factor of 20. 248/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)

  • Page 249: Controller Operations

    Technical Information Controller Operations Controller Operations Please refer to the selected controller manual. TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 249/258...

  • Page 250: Accessories And Spare Parts

    Mains cable NEMA Plug, 3 m long 9699958 Mains cable EU Plug, 3 m long 9699957 Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M007 Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M006 250/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
  • Page 251 The communication S/W between the controller and the pump (A-Plus) is NOTE available on the Agilent website: https://www.agilent.com/en/products/vacuum-technologies/vacuum-leak- detection-software/a-plus-software The connection is provided through serial communication or via RS232 SERIAL to B/T Adapter (X3514-68003). TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00) 251/258...
  • Page 253 Vacuum Products Division Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased. As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products.
  • Page 254 CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO – QUALITY ASSURANCE FAX N°: XXXX‐011‐9979350 ADDRESS: AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. – Vacuum Products Division – Via F.lli Varian, 54 – 10040 Leinì (TO) – Italy E‐MAIL: vpd‐qualityassurance_pdl‐ext@agilent.com NAME...
  • Page 255 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
  • Page 256 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product.
  • Page 257 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
  • Page 258 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

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