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Type 8744
Données techniques
4.3
Données du fluide
MFM
Fluide de calibrage
Plage de débit nominal Q
rence à N2 (l
/min))
N
Taux de baisse
Répétabilité
Précision de mesure, après 30 mi-
nute de temps de chauffe
Temps de réponse
MFC avec vanne proportionnelle
Fluide de calibrage
Plage de débit nominal Q
rence à N2 (l
/min))
N
Taux de baisse
Répétabilité
Précision de mesure, après 30 mi-
nute de temps de chauffe
Temps de réponse
Qualité du fluide
REMARQUE !
Le fluide doit répondre aux critères de qualité pour répondre aux exigences suivantes :
la nécessaire exactitude de mesure de l'appareil
obéir aux exigences de sécurité
respecter la précision de régulation d'un MFC
ð Pour plus d'informations concernant les critères de qualité, se référer à la norme ISO 8573-1.
Azote (N2)
(réfé-
0,01...100 I
/min
nom
N
1:20 (Q
< 0,025 l
nom
1:50 (Q
≥ 0,025 l
nom
autres sur demande
±0,1% de la pleine échelle
±0,8 % de la valeur mesurée
±0,3 % de la pleine échelle
Si le fluide est diffèrent du fluide d'étalonnage, l'exactitude de me-
sure avec le fluide utilisé pourrait être différente de celle indiquée
dans la fiche technique.
< 2 s
Azote (N2)
(réfé-
0,01...100 I
/min
nom
N
1:20 (Q
< 0,025 l
nom
1:50 (Q
≥ 0,025 l
nom
autres sur demande
±0,1% de la pleine échelle
±0,8 % de la valeur mesurée
±0,3 % de la pleine échelle
Si le fluide est diffèrent du fluide d'étalonnage, l'exactitude de me-
sure avec le fluide utilisé pourrait être différente de celle indiquée
dans la fiche technique.
< 2 s
/min)
N
/min)
N
/min)
N
/min)
N
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