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Résultats RGA
Programme de test
Un spectromètre de masse quadripolaire (AccuQuad 200 RGA) a été utilisé pour collecter des données RGA. La pression de la
chambre a été mesurée avec une jauge d'ionisation (G8130). Après conditionnement initial du système, un spectre de référence
a été enregistré avec la pression totale dans la chambre de test.
Le composant a été placé dans le système de vide (0,0035 m
), qui a ensuite été pompé à l'aide d'une pompe ionique diode
3
KJL Lion 802 (800/s) et d'une pompe à membrane Divac à température ambiante pendant 24 heures, après quoi, un scan de
« background » (fond continu) et la pression totale dans la chambre de test ont été à nouveau consignés. Si la pression du système
était meilleure que 5 × 10
mbar, l'éprouvette était à nouveau étuvée à 120 °C pendant 48 heures. Le système a ensuite été refroidi
-9
à température ambiante avant de relever une mesure finale du spectre de masse et de la pression totale. Les scans RGA finaux
sont illustrés ci-dessous.
REMARQUE : Il ne faut pas s'attendre à obtenir une reproduction exacte de ces résultats, car les données RGA dépendent de
l'état, des spécifications et des performances du système de vide. Toutefois, les résultats RGA ne mettent pas en évidence une
contamination significative attribuable aux codeurs RESOLUTE UHV, et ces conditions UHV peuvent donc être obtenues en
présence de ce produit.
Tête de lecture RESOLUTE UHV avec câble de 1,0 m après étuvage (pression totale = 8 x 10
mbar)
-10
Masse/AMU
Règle linéaire RSLA30 (longueur 180 mm) avec 2 clamps et 1 bride après étuvage (pression totale = 3,0× 10
mbar)
-10
Masse/AMU
Système de codage optique absolu RESOLUTE
UHV
10
™
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