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Fonctionnement
p [hPa]
4
2
10
–3
8
6
4
2
10
–4
8
6
4
2
10
–5
8
6
4
2
10
–6
8
6
4
2
10
–7
Fig. 11:
Facteurs de correction
Dans le domaine de pression < 10
Type de gaz
Air, oxygène (O
Hydrogène (H
Hélium (He)
Néon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xénon (Xe)
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 13:
Type de gaz
Air, oxygène (O
Hydrogène (H
Dioxyde de carbone (CO
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
30/62
10
–7
2
10
–6
2
4 6
4 6
Pression affichée IKR
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
), monoxyde de carbone, (CO), azote (N
2
)
2
Facteurs de correction pour la plage de pression < 10
), monoxyde de carbone, (CO), azote (N
2
)
2
)
2
Xe Kr
10
–5
2
10
–4
2
4 6
-5
hPa, l'affichage est linéaire.
)
2
)
2
Air
O
2
CO
Ar
N
H
Ne He
2
2
10
–3
2
10
–2
4
6
4 6
p
[hPa]
eff
Facteur de correction (C)
1,0
2,4
5,9
4,1
0,8
0,5
0,4
-5
hPa PKR et IKR
Facteur de correction (C)
1,0
0,5
0,9
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