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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum PBR 360
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum PBR 360
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original PBR 360 Jauge Pirani/Bayard-Alpert...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes Groupe cible Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations Justificatif de marque de commerce Sécurité Consignes générales de sécurité...
- Page 4 Table des matières Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange Accessoires 14.1 Informations sur l’accessoire 14.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Variantes Tab. 3: Abréviations utilisées Tab. 4: Affichage de l’état Tab. 5: Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Tab. 6: Tableau de conversion Tab.
- Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Construction de l’émetteur Fig. 2: Configuration de mesure Fig. 3: Conception du système de mesure Bayard-Alpert Fig. 4: Raccord à vide Fig. 5: Unité électronique Fig. 6: Schéma de raccordement Fig. 7: Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Fig.
- Page 7 Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
- Page 8 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise.
- Page 9 Contrôleur logique programmable Signal de mesure [V] (tension de sortie) Tab. 3: Abréviations utilisées 1.4 Justificatif de marque de commerce ● FullRange ® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® est une marque déposée de Hirschmann Electronics GmbH. 9/50...
- Page 10 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
- Page 11 ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. Risques pendant le fonctionnement DANGER Danger de mort dû...
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
- Page 13 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
- Page 14 Sécurité L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 14/50...
- Page 15 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction emi on high hard Fig. 1: Construction de l’émetteur 1 DEL « emi on » (émission/cathode chaude) Interrupteur pour le point de commutation entre Pirani et la cathode chaude 2 Bouton « aju » de point de calibrage zéro et at- mosphérique 3.1.1 Systèmes de mesure La jauge a deux systèmes de mesure :...
- Page 16 Description du produit Hot cathode Pirani 5 × 10 1000 hPa Fig. 2: Configuration de mesure Le point de commutation P correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression diminue. Le point de commutation P correspond au point auquel le HIMS est désactivé...
- Page 17 Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
- Page 18 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
- Page 19 Installation 5 Installation 5.1 Raccord à vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ►...
- Page 20 Installation Fig. 4: Raccord à vide 1 Joint avec anneau de centrage Joint avec anneau de centrage et filtre 2 Jauge Pièce de serrage 3 Obturateur de protection Recommandations 1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement.
- Page 21 Installation AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
- Page 22 ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour appareil de commande et de mesure de la pression totale Pfeiffer Vacuum disponible dans les accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d’évaluation par le client ●...
- Page 23 Installation Fig. 7: Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Fabrication du câble de mesure Pour de plus amples informations sur le type de câble de mesure et les coupes transversales de raccor- dement, voir la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure.
- Page 24 Fonctionnement 6 Fonctionnement Après l’activation de la tension d’alimentation, la jauge est prête pour l’utilisation. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. Précision de mesure La précision de mesure est réduite dans la plage >1 hPa et <1 ×...
- Page 25 Fonctionnement high Hot cathode Pirani hard 5 × 10 1000 hPa high emi on high Hot cathode Pirani hard hard 5 × 10 1000 hPa high Hot cathode Pirani hard 5 × 10 1000 hPa Fig. 8: Sélection de la plage d’activation et de désactivation Procédure 1.
- Page 26 Fonctionnement 6.3 Conversion du signal de mesure et de la pression p [hPa] 1E+04 1E+03 1E+02 underrange 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 overrange 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 10.0 U [V] Fig. 9: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression Signal de mesure [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U)
- Page 27 Fonctionnement Signal de mesure (U) Pression (p) [hPa] [Torr] [Pa] 7,75 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 8,50 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 9,25 1 × 10 7,5 × 10 1 × 10 10,00 1 ×...
- Page 28 Fonctionnement Type de gaz Facteur de correction (C) Hélium (He) 1,02 Argon (Ar) 1,59 Dioxyde de carbone (CO 0,89 Tétra fluorométhane (CF , R14) 0,95 Tab. 7: Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement Domaine de pression < 10 hPa (gamme d’ionisation) Dans le domaine de pression <...
- Page 29 Fonctionnement ● Courant de mesure ● Temps de fonctionnement La valeur de mesure peut être instable du fait des dépôts sur le HIMS. Le procédé de dégazage cause l’échauffement de la grille de collecte des électrons jusqu’à 800 °C du fait du chauffage ohmique, net- toyant ainsi l’élément de mesure.
- Page 30 Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit aux enceintes à vide mises à la terre doit être galvanisé. ►...
- Page 31 Démontage Fig. 11: Retrait de la jauge 1 Câble de mesure Obturateur de protection 2 Pièce de serrage Retrait de la jauge 1. Desserrez la vis d’arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3.
- Page 32 ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour orga- niser la maintenance de produits et de composants défectueux.
- Page 33 ► Étuvez (dégazez) l’anode pour enlever tous les petits dépôts du système d’électrode. 8.2 Calibration de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez calibrer le système de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point de calibrage (ATM ou HV) applicable.
- Page 34 Maintenance Fig. 12: Calibration de la jauge DEL « emi on » Signification Clignote lentement en vert ● Calibrage réussi (clignote en vert pendant 1 s) Allumée en rouge ● Erreur de calibrage (s’allume en rouge pendant 3 s) Tab. 9: Affichage de l’état Préparation du calibrage 1.
- Page 35 Maintenance 8.3 Remplacement du système de mesure AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
- Page 36 Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. Anomalie...
- Page 37 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
- Page 38 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
- Page 39 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 40 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 41 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange Description Référence de commande Système de mesure, DN 25 ISO-KF PT 120 239 -T Système de mesure, DN 40 ISO-KF PT 120 237 -T Système de mesure, DN 40 CF-R PT 120 241 -T 41/50...
- Page 42 Câble de mesure Câble de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à un appareil de commande et de me- sure de pression totale Pfeiffer Vacuum Boîtier de contacteurs Douille de câble pour la fabrication du câble de raccordement spécifique pour l’application Joints avec anneau de centrage et filtre Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre...
- Page 43 Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1,000 1,000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7.5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1,000 Torr | mm Hg 1,33...
- Page 44 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Pirani Calibrage automatique par le circuit de mesure à cathode chaude dans la –5 gamme de <1 × 10 Calibrer en appuyant sur le bouton à la pression atmosphérique Calibration Calibrer en appuyant sur le bouton à une pression ≤ 5 × 10 point zéro Tab.
- Page 45 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Poids DN 25 ISO-KF 470 g DN 40 ISO-KF 470 g DN 40 CF-R 685 g Tab. 17: Volume interne et poids Paramètre Valeur Humidité relative de l’air À des températures atteignant +30 °C, 80 % max. À...
- Page 46 Caractéristiques techniques et dimensions 15.3 Dimensions Fig. 14: Dimensions de DN 25 ISO-KF Dimensions en mm Fig. 15: Dimensions de DN 40 ISO-KF Dimensions en mm 46/50...
- Page 47 Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 16: Dimensions de DN 40 CF-R Dimensions en mm 47/50...
- Page 48 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Jauge Pirani/Bayard-Alpert PBR 360 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE...
- Page 49 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...