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Utilisation
Paramètre
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Tab. 12:
Mise en route de la pompe turbo
1. Respectez le débit et la circulation de l'eau de refroidissement.
2. Lorsqu'un gaz de pressurisation est utilisé, respecter la valeur de flux de débit du gaz de pressuri-
3. Respecter la réduction de la puissance d'entraînement, en fonction de la tension d'alimentation
4. Alimenter le produit en électricité.
6.2 Modes de fonctionnement
Il existe plusieurs modes de fonctionnement pour la pompe turbo.
● Fonctionnement sans unité de commande
● Fonctionnement via la connexion « E74 »
● Fonctionnement via la connexion « à distance »
● Fonctionnement par l'intermédiaire de l'interface RS-485 et de l'unité d'affichage et de commande
● Fonctionnement via un bus de terrain
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
Instructions de fonctionnement sans panneau de commande
1. Utiliser uniquement la fiche d'accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la
2. L'alimentation secteur de la pompe turbo ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en
Après application de la tension de fonctionnement, l'unité d'entraînement électronique effectue un test
automatique pour contrôler la tension d'alimentation. Si le test s'est terminé avec succès, la pompe tur-
bo démarre et active les équipements additionnels conformément à la configuration.
6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 »
Le fonctionnement est possible via la connexion D-Sub à 15 broches avec la désignation « E74 » sur
l'unité d'entraînement électronique. En plus des signaux définis dans la directive SEMI E74-0301, la
connexion est fournie avec un signal d'alarme inversé et une sortie analogique.
Instructions d'utilisation avec E74
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique avec la version E74.
6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
La commande à distance est disponible via la connexion D-Sub à 26 broches avec la désignation « à
distance » sur l'unité d'entraînement électronique. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées
avec les « niveaux PLC ».
Instructions pour le fonctionnement avec commande à distance
► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard.
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Nom
Désignation
VentSpd
Mise à l'air à la vitesse de rotation, mise à l'air
retardée
VentTime
Durée de ventilation, ventilation temporisée
Réglages préconfigurés pour pompes turbomoléculaires à la livraison
sation.
fournie par le secteur.
Pfeiffer Vacuum ou d'un PC
Démarrage automatique
La pompe turbo est prête à fonctionner lorsque la fiche d'accouplement fournie à la livrai-
son est utilisée sur l'unité d'entraînement électronique ou lorsque les contacts de pontage
sont mis en œuvre conformément à l'agencement du terminal. Dès que la tension d'alimen-
tation est fournie, la pompe turbo va démarrer automatiquement.
connexion de l'unité d'entraînement électronique.
route.
Réglage ou valeur
50 %
3 600 s
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