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Fig. 3:
5.2.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride
de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre
de vide. La vitesse de pompage de la pompe est réduite conformément aux valeurs de référence de
passage et à la taille de la bride de vide secondaire.
Taille de bride
Bouclier pare-éclats DN 200
Écran protecteur DN 200
Tab. 7:
► Utilisation d'anneaux de centrage avec écran protecteur ou bouclier pare-éclats pour brides ISO.
► Utilisation d'un écran protecteur supplémentaire ou d'un bouclier pare-éclats pour brides CF.
5.2.4 Utilisation du compensateur de vibrations
Les compensateurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux systèmes sensibles aux vibrations.
Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur
de vibration en cas de dysfonctionnement
Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme
ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la
projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe
turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement
dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dom-
mages matériels très importants.
► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises.
► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum.
Installation du compensateur de vibrations
1. Seul un compensateur de vibrations à passage vertical peut être installé.
2. Tenir compte de la résistance à l'écoulement.
3. Fixer la pompe turbo également à la bride de vide secondaire.
4. Respecter la fixation des brides ISO.
VACUUM CHAMBER
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement lié à des vibra-
tions externes
Raccordement de sûreté, côté client
Comportement de la vitesse de pompage lors de l'utilisation d'un bouclier pare-
éclats ou d'un écran protecteur
AVERTISSEMENT
Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz
H
He
2
10
13
3
3
Installation
N
Ar
2
26
28
8
9
27/76
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