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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 C
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 C
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 1200 C Pompe turbomoléculaire...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations non conformes prévisibles Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 Remise en service Recyclage et mise au rebut Informations générales sur la mise au rebut Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Anomalies Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Pièces de rechange Accessoires 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d’accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
- Page 5 Tab. 18: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 19: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 20: Fiche technique pour HiPace 1200 C Tab. 21: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 5/70...
- Page 6 Liste des figures Fig. 1: Position des autocollants sur le produit Fig. 2: Conception de la HiPace 1200 C et des versions UC Fig. 3: Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe tur- bomoléculaire sans emballage Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 8 Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique (exemple) Les plaques signalétiques des modules individuels sont situées D-35614 Asslar HiPace 1200 C Mod. sur la partie inférieure de la pompe turbomoléculaire ou des con- PM P06 xxx nexions correspondantes.
- Page 9 A propos de ce manuel Vis de remplissage du fluide d’exploitation Cet autocollant décrit la position de la vis de remplissage corres- pondante du fluide d’exploitation. Classe de protection Cet autocollant décrit la classe de protection 1 du produit. Le posi- tionnement indique la position de la connexion de terre.
- Page 10 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document Bride de vide élevé, côté vide élevé Bride : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et ISO 2861 Diode électroluminescente Terre de protection (conducteur de protection) [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous la forme d’un nombre à...
- Page 11 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 12 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 13 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rota- tion manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex.
- Page 14 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de brûlure lié à l'utilisation d'équipements additionnels de chauffe pendant le fonction- nement L'utilisation d'équipements additionnels de chauffe de la pompe à vide ou pour l'optimisation des pro- cessus engendre des températures très élevées sur les surfaces pouvant être touchées. Il existe un risque de brûlure.
- Page 15 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ►...
- Page 16 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 17 Sécurité ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ►...
- Page 18 L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit.
- Page 19 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 20 La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité de commande électronique. L’unité de courant intégrée sert d’alimentation en tension. Fig. 2: Conception de la HiPace 1200 C et des versions UC 1 Raccord de vide élevé Alimentation du boîtier du relais...
- Page 21 ● Manuel de l’utilisateur 3.3 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 22 ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’ex- ploitation. Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit 1.
- Page 23 Transport et stockage 4.1.1 Transport en position verticale AVIS Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au type Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploita- tion.
- Page 24 – Conservez l’anneau à vis pour une utilisation ultérieure. 4.2 Stockage Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport d’origine. Stockage de la pompe turbomoléculaire 1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origi- 2.
- Page 25 Transport et stockage 3. Rangez la pompe turbomoléculaire uniquement dans un local dans les limites admissibles de température. 4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Scellez la pompe turbomoléculaire avec un agent dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 25/70...
- Page 26 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 27 Dimensions requises d'un raccord de vide secondaire spécifique du client Information importante pour une installation correcte ► Utilisez exclusivement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide élevé de la pompe turbomoléculaire. 5.2.2 À propos de la protection antisismique AVIS Endommagement de la pompe à...
- Page 28 5.2.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’une grille de protection Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre de vi- de.
- Page 29 Installation 5.2.5 Orientations de montage AVIS Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au type Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d’exploita- tion. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de la pompe à...
- Page 30 Installation Détermination de l'orientation de montage horizontale de la pompe turbomoléculaire 1. Alignez toujours le raccordement de vide préliminaire verticalement et vers le bas. – Écart admissible ± 25° 2. Les raccordements des tubes devant la pompe turbomoléculaire doivent être fixés sur des sup- ports.
- Page 31 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utilisez uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide poussé sur la pompe turbomoléculaire.
- Page 32 Installation 4. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure. 5. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire. 6. Serrez les écrous en croix en 3 étapes. 7.
- Page 33 Installation Fig. 15: Raccord de bride ISO-F, goujons et trous taraudés Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeif- fer Vacuum. 2. Visser les goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride. –...
- Page 34 ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermé- diaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire...
- Page 35 Installation 4. Remplissez avec du fluide d’exploitation jusqu'à ce qu'il déborde de l'orifice de remplissage. – Volume maximum 50 ml. – Lorsque la pompe est montée verticalement, le volume de remplissage est inférieur. 5. Scellez le bouchon de remplissage. – Couple de serrage : 3 Nm 5.4 Raccordement du côte vide primaire AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié...
- Page 36 2. Observez la configuration des connexions et des lignes de commande existantes. 3. Raccordez uniquement les accessoires adaptés à l’unité de commande électronique. 4. Utilisez le raccord en Y de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum pour raccorder plusieurs ap- pareils (3 au maximum).
- Page 37 Installation substances dommageables dans le moteur et les roulements. L’alimentation est assurée par une vanne de gaz de pressurisation fournie dans l’étendue de la livraison. ● La pression d'entrée admissible du gaz de pressurisation est de 1 500 hPa absolue. ●...
- Page 38 Installation Fig. 20: Exemple : raccorder le câble de terre Procédure 1. Utilisez un câble de terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Utilisez la borne de masse de la pompe turbomoléculaire (filetage femelle M4). 5.7.3 Raccordement électrique AVERTISSEMENT Risque de blessure fatale lié...
- Page 39 ► Vérifiez que la tension d'alimentation est correcte. ► Commandez un câble de raccordement au réseau électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Assemblez votre propre câble de raccordement au réseau électrique en utilisant le connecteur HAN 3A livré avec le produit.
- Page 40 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 41 ► Voir les instructions d'utilisation de l'unité de commande électronique pour la version standard. 6.2.3 Fonctionnement via l'appareil de commande et d'affichage Pfeiffer Vacuum Grâce à la connexion d'un écran et d'un appareil de commande Pfeiffer Vacuum, la pompe turbomolé- culaire peut être contrôlée par l'intermédiaire des paramètres fixés dans l'unité de commande électroni- que.
- Page 42 électronique. 6.2.4 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de ter- rain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 43 Les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d'avertissement ne sont possibles que pour le fonctionnement avec l'affichage et l'appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 44 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 45 Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air rapide de grands volumes en 4 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à...
- Page 46 4. Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le fluide d’exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demander à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans.
- Page 47 Maintenance 7.3 Remplacement du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ►...
- Page 48 ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermé- diaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire...
- Page 49 Maintenance Fig. 22: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions standards Direction du raccord de vide Fig. 23: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions U Direction du raccord de vide Procédure 1.
- Page 50 Maintenance ATTENTION Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de comman- de électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de four- nir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à...
- Page 51 Maintenance Fig. 24: Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1 Unité de commande électronique TC 1200 Vis à tête Allen M4 x 12 2 Base de la pompe Vis à tête Allen M4 x 65 3 Rondelle anti-vibration Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1.
- Page 52 Maintenance Fig. 25: Montage de l’unité d’entraînement électronique 1 Unité de commande électronique TC 1200 Joint torique 2 Prise de raccordement Bord rectiligne de la pompe du fluide d’exploitation Installation de l’unité d’entraînement électronique 1. Si nécessaire, introduire le joint torique dans la rainure du socle de la pompe. 2.
- Page 53 Tab. 14: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo Accessoires requis ● Une unité d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum connectée. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de fonctionnement de l'unité d’en- traînement électronique. Réglage de la confirmation de la vitesse de rotation nominale 1.
- Page 54 ► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation : ● après 2 ans au maximum sans fonctionnement, ● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt. ► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum. 54/70...
- Page 55 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeif- fer Vacuum Service de remplacer le palier.
- Page 56 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 57 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 58 ● Unité de commande élec- ● Remplacez l’unité de commande électronique. tronique défectueuse ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne dé- ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au marre pas ; la LED verte sur l’unité...
- Page 59 Anomalies Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran pro- ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou tecteur desserré...
- Page 60 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 61 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 62 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange Fig. 27: Pièces de rechange Posi- Désignation Grandeur Référence Remarque Pièces tion Unité de commande électroni- se référer à la plaque si- en fonction du panneau de que TC 1200 gnalétique connexion Prise bouchon « remote » PM 061 378 -X avec des cosses à...
- Page 63 Accessoires de remise à l'air Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 64 IKT 010, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de faible PT R72 100 intensité IKT 011, sonde de mesure à cathode froide numérique, courant de forte PT R73 100 intensité Tab. 17: Accessoires | HiPace 1200 C 64/70...
- Page 65 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 66 5 – 85 %, sans conden- 5 – 85 %, sans conden- sation sation Orientation de montage 0° (bride HV haut) – 90° 0° (bride HV haut) – 90° Poids 30 kg 30 kg Tab. 20: Fiche technique pour HiPace 1200 C 66/70...
- Page 67 Fluide d’exploitation (huile d’ester) Céramique oxydée, comme demandé Tab. 21: Matières entrant en contact avec la substance du procédé 14.4 Dimensions DN 200 ISO-F G1/8 141.9 DN 40 ISO-KF Fig. 28: Dimensions de la HiPace 1200 C | DN 200 ISO-F 67/70...
- Page 68 Caractéristiques techniques et dimensions DN 200 ISO-K G1/8" G1/8" 141.9 DN 40 ISO-KF Fig. 29: Dimensions de la HiPace 1200 C | DN 200 ISO-K Dimensions en mm 68/70...
- Page 69 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 1200 C HiPace 1200 U C Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 70 Notizen / Notes:...