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Table des matières
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Utilisation
6.1
Mise en service
6.2
Modes de fonctionnement
6.2.1 Fonctionnement sans unité de fonctionnement
6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 »
6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance »
6.2.4 Fonctionnement via l'unité d'affichage et de commande Pfeiffer Va-
cuum
6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain
6.3
Mise en marche de la pompe turbo
6.4
Surveillance des opérations
6.4.1 Affichage LED du mode de fonctionnement
6.4.2 Surveillance de la température
6.5
Mise hors circuit et mise à l'air
6.5.1 Mise hors circuit
6.5.2 Mise à l'air
Maintenance
7.1
Informations générales sur la maintenance
7.2
Intervalles de maintenance et responsabilités
7.3
Remplacement du fluide d'exploitation
7.3.1 Vidange du fluide d'exploitation
7.3.2 Remplissage avec du fluide d'exploitation
7.4
Remplacement de l'unité d'entraînement électronique
7.5
Confirmation de la spécification de vitesse
Mise hors service
8.1
Mise à l'arrêt prolongé
8.2
Remise en service
Recyclage et mise au rebut
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
9.2
Mise au rebut des pompes turbomoléculaires
Dysfonctionnements
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Pièces de rechange
Accessoires
13.1 Informations sur les accessoires
13.2 Commande d'accessoires
Caractéristiques techniques et dimensions
14.1 Généralités
14.2 Fiche technique
14.3 Dimensions
Déclaration de conformité
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