Installation
5.2 Raccordement côté vide élevé
5.2.1 Dimensions exigées d'une contre-bride
Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride
Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes
contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fui-
te ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement.
► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées.
► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface.
Paramètre
Couple maximum généré en cas d'éclatement
Charge axiale maximum autorisée sur la bride de vide secondaire
Planéité
Résistance à la traction minimum du matériau de bride dans tous les états de
fonctionnement par rapport à la profondeur d'engagement des vis de fixation
Champ magnétique environnant maximum admissible
Rayonnement thermique maximum admissible
Tab. 6:
Information importante pour une installation correcte
► Utilisez exclusivement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide élevé
5.2.2 À propos de la protection antisismique
Endommagement de la pompe à vide lié à des vibrations externes
En cas de tremblement de terre ou d'autres vibrations externes, le rotor risque d'entrer en contact
avec les paliers de sécurité. La paroi du corps peut aussi toucher la pompe turbo. Les charges méca-
niques ainsi générées peuvent endommager voire détruire la pompe turbo.
► Il faut s'assurer que tous les raccords de bride et de sûreté absorbent les forces résultantes.
► La chambre de vide doit être fixée en toute sécurité pour prévenir tout risque de déplacement ou
1)
2)
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Pièces de superstructure et robinetterie sur le raccord de vide élevé
La responsabilité de l'installation des pièces de superstructure et de la robinetterie sur le
raccord de vide élevé incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride
de vide secondaire est spécifique à la pompe turbomoléculaire utilisée.
● Le poids total des pièces de superstructure ne doit pas excéder les valeurs axiales
maximum spécifiées.
● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou-
dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé.
● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de
vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
Dimensions requises d'un raccord de vide secondaire spécifique du client
de la pompe turbomoléculaire.
de basculement.
Le couple théorique calculé en cas d'éclatement (rupture de l'arbre du rotor) conformément à la norme
ISO 27892 n'a pas été atteint pendant les tests expérimentaux.
Une charge qui s'exerce sur un seul côté n'est pas autorisée.
AVIS
1)
2)
AVIS
HiPace 1200
9800 Nm
2 000 N
(équivalent à 200 kg)
± 0,05 mm
170 N/mm
2
@ 2,5 x d
270 N/mm
2
@ 1,5 x d
6,0 mT
22,5 W