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Pfeiffer Vacuum ASM 390 Manuel De Maintenance page 25

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Démontage de la jauge Pirani
2
2
3
3
4
6
6
5
4
1 Peigne
2 Vis de maintien
3 Vis CHc
1. Déconnecter le peigne de la jauge.
2. Retirer la vis de maintien.
3. Mettre la vis CHc au centre de la jauge (vis CHc contenue dans le nécessaire d'entretien livré
avec le détecteur).
4. Tirer sur la vis CHc pour sortir la jauge.
Remontage de la jauge Pirani
1. Positionner la nouvelle jauge.
– Lors de l'introduction de la nouvelle jauge, ne pas mettre en contact les filaments de la jauge
avec le bloc vide.
2. Mettre la vis de maintien.
3. Connecter le peigne de la jauge.
4. Régler la jauge : voir chapitre Calibration de la jauge Pirani interne du manuel de l'utilisateur.
Test d'étanchéité après maintenance de la jauge Pirani
1. Mettre le détecteur en cycle.
2. Asperger un léger flux d'hélium 4 autour de la jauge.
– taux de fuite mesuré < 3 · 10
1
1
4
Jauge
5
Filaments
6
Bloc vide
-09
mbar·l/s (3 · 10
Entretien - Maintenance
-10
3
Pa·m
/s).
25/36

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Ce manuel est également adapté pour:

Asm 392