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Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
9.4.11 Exploitation avec périphérique
9.4.12 Modes de remise à l'air
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Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclen-
chement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande élec-
tronique d'entraînement.
Chauffage
Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vi-
tesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x f
Vanne de la purge de gaz neutre
Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigu-
rée, à l'aide du paramètre [P:050].
La remise à l'air de la pompe turbomoléculaire est possible après l'interruption de la fonc-
tion « Groupe de pompage ». L'émission de signaux au niveau des sorties configurées
s'effectue avec une temporisation fixée à 6 s. Trois modes d'exploitation peuvent être sé-
lectionnés pour l'exploitation avec vanne de remise à l'air raccordée.
Déclenchez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:012].
Sélectionnez le mode de remise à l'air à l'aide du paramètre [P:030].
Remise à l'air retardée
Le début et le temps de remise à l'air après « Groupe de pompage off » peuvent être
configurés et dépendent de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
Paramètre [P:030] = 0
Réglez la vitesse de remise à l'air en % de la vitesse nominale à l'aide du paramètre
[P:720].
).
Nominal
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