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Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
9.4.3
Exploitation en fonction du type de gaz
9.4.4
Valeur prédéfinie puissance absorbée
30
En présence d'une charge de gaz et d'une vitesse de rotation élevée, le rotor est forte-
ment échauffé par le frottement. Pour éviter toute surchauffe, des courbes caractéris-
tique de régime et de puissance ont été implémentée dans la commande électronique.
Elle permet d'exploiter la pompe à chaque vitesse de rotation avec la charge de gaz
maximale autorisée, sans risque d'endommagement. La puissance absorbée maximale
dépend du type de gaz. Pour exploiter pleinement la capacité de puissance de la pompe
pour chaque type de gaz, trois paramètres de courbe sont disponibles.
Risque de détruire la pompe
En cas de mauvais mode Gaz sélectionné, le pompage des gaz avec masses molécu-
laires plus haute peut provoquer la destruction de la pompe.
Veillez à ce que le mode Gaz soit correctement réglé.
Avant d'utiliser des gaz présentant des masses molaires plus importantes (> 80),
contactez Pfeiffer Vacuum.
● Mode Gaz « 0 » pour les gaz présentant une masse molaire >39 , par ex. l'Argon.
● Mode Gaz « 1 » pour les gaz présentant une masse molaire 39.
● Mode Gaz « 2 » pour hélium.
● Courbes de puissance conformément aux caractéristiques techniques de la pompe
turbomoléculaire.
Vérifiez et réglez mode gaz [P:027].
P max
D
[P:708]
C-D = Mode gaz "0"
A-B = Mode gaz "1"
E-F = Mode gaz "2"
Fig. 9:
Principe des courbes de puissance en exploitation en fonction du type de gaz ; ex. Mode
gaz = 0
La pompe turbomoléculaire s'active avec une puissance absorbée maximale. Lorsque la
vitesse nominale ou de consigne est atteinte, une commutation automatique sur la
courbe de puissance du mode gaz sélectionné s'effectue. Une charge de gaz croissante
est tout d'abord compensée par une augmentation de la puissance absorbée, afin de
maintenir la vitesse constante. Toutefois, une friction de gaz croissante résulte en un
échauffement plus important de la pompe turbomoléculaire. En cas de dépassement de
la puissance maximale en fonction du type de gaz, la vitesse de la pompe turbomolécu-
laire diminue jusqu'à ce qu'un équilibre s'établisse entre la puissance admissible et la
friction du gaz.
Pour éviter des variations de vitesse, Pfeiffer Vacuum recommande une fréquence lé-
gèrement inférieure en mode Réglage de la vitesse.
Régler le paramètre [P:708] sur la valeur souhaitée en %.
En cas de réglage de la valeur prédéfinie de puissance absorbée en dessous de 100 %,
le temps d'accélération se prolonge. Afin d'éviter des messages d'erreur, le paramètre
[P:700] RUTimeSVal doit être adapté de manière adéquate.
AVIS
Accélération
B
F
Vitesse
E
A
C
f N
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