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Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 Manuel De L'utilisateur page 50

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Utilisation
8.7 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure du capteur de pression dépend du type de gaz dans la gamme Pirani. Le facteur
de correction pré-réglé = 1 s'applique à l'azote (N
(CO).
Type de gaz
Air, oxygène (O
Hydrogène (H
Dioxyde de carbone (CO
Vapeur d'eau
Hélium (He)
Néon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xénon (Xe)
Dichlorodifluorométhane (CCl
Les facteurs de correction fournis ici sont des valeurs moyennes.
Tab. 16:
50/86
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
), monoxyde de carbone, (CO), azote (N
2
)
2
)
2
F
, R12)
2
2
Facteur de correction pour le domaine de pression < 1 hPa
), l'oxygène (O
), l'air sec et le monoxyde de carbone
2
2
Facteur de correction (C)
)
1,0
2
0,5
0,9
0,5
0,8
1,4
1,7
2,4
3,0
0,7

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