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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum SPM 220
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum SPM 220
- Page 1 Sputter Process Monitor SPM 220 Manuel de l‘utilisateur...
- Page 2 SPM 220 ........
- Page 3 10.4 Accessoires du SPM ........47 Mise hors service .
- Page 4 1 A propos de ce mode d'emploi 1.1 Validité Ce mode d'emploi s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le fonctionnement du produit désigné et comporte des informations essentielles garantissant sa sécurité d'utilisation. La description est conforme aux directives européennes en vigueur.
- Page 5 Valve Control Unit (appareil de commande de vanne) MembranVakuumPumpe (pompe à vide à diaphragme) Symboles utilisés Le symbole [X] est utilisé pour les renvois vers d'autres documents énumérés dans la bibliographie. Marque du produit PrismaPlus™ Pfeiffer Vacuum GmbH QUADERA™ INFICON AG...
- Page 6 à vide, au fluide pompé ou à l'installation dans son ensemble. REMARQUE Installation et exploitation des accessoires Pfeiffer Vacuum Il est possible d'équiper les appareils avec toute une série d'accessoires adaptés. L'installation, l'exploitation et l'entretien des appareils de raccordement sont décrits en détails dans les modes d'emploi accompagnant les différents composants.
- Page 7 Portez des protections auditives 2.3 Usage conforme à la destination Le Sputter Process Monitor SPM 220 est une unité de spectrométrie de masse pompée de façon différentielle. Il sert à mesurer les contaminations les plus faibles lors des processus de pulvérisation avec des pressions de processus inférieures à 2x10 mbar.
- Page 8 3 Transport et stockage 3.1 Transport Réutilisez le conteneur de transport du SPM 220. Il faut transporter ou expédier l'appareil dans son emballage d'origine. Il ne faut retirer les couvercles de protection du côté vide élevé et du côté vide primaire qu'au moment du raccordement.
- Page 9 PT 0250 BN pompage 4.1 Identification du produit Caractéristiques du Pour identifier le produit de manière sûre lors de toute communication avec Pfeiffer Vacuum, tenez toujours à portée de main les indications suivantes figurant sur la produit plaque signalétique :...
- Page 10 Le SPM 220 doit être installé et exploité dans les conditions ambiantes suivantes : DANGER Risque d'explosion Le SPM 220 n'est pas prévu pour une utilisation dans des zones menacées par des explosions. Mettez immédiatement le SPM 220 hors circuit en cas d'atmosphère explosive.
- Page 11 PT M5x 4xx Source d'ions SPM, filament W manométrique dans enceinte du SPM 220 Base Rack Unit BRU 220 (La figure illustre un appareil équipé de toutes les options supplémentaires ; voir la section Composants supplémentaires, page 16 et pages suivantes.)
- Page 12 Description du produit Câble d'alimentation Jeu de câbles de Câble standard (fourni dans toutes les options) raccordement Marquage du Câble Réf. (3 m) Réf. (10 m) câble Câble d'interface M12 PM 061 283-T PM 061 285-T Câble de raccordement BRU/TC PM 061 512-T PM 061 514-T Turbo Pump...
- Page 13 Description du produit Composants en option du jeu de câbles : Marquage du Option Câble Réf. (3 m) Réf. (10 m) câble PT M5x x7x Câble de raccordement VCU/PP PT 165 070-T Digital I/O Câble de raccordement VCU/ PT M5x x7x PT 165 073-T Valves PT M5x xx6...
- Page 14 Description du produit Pompe à diaphragme MVP 020 [5] Vanne d'entrée SVV 040, à commande électropneumatique - pour l'option PT5x x7x VCU 220 - uniquement pour l'option PT M5x x7x...
- Page 15 Description du produit Composants Appareil d'affichage et de commande DCU 002 intégré dans la BRU (PM 061 348 -T) [7] supplémentaires Tube de mesure de la pression totale de la série « ActiveLine » [9] TPG 261 intégré dans la BRU 220. Un tube de mesure de la pression totale de la série ActiveLine avec câble de raccordement doit être fourni séparément en fonction du domaine de pression de travail....
- Page 16 Description du produit Option Chauffage Chauffage se composant d'un contrôleur et d'une chemise chauffante (Pfeiffer Vacuum GmbH ; PT 165 000-T [230 V] ou PT165 001-T [115 V])
- Page 17 – Entrées analogiques, sélection 5x -10...+10 V libre – Sorties numériques, sélection libre 13x 24 VCC – Sortie numérique, contact, 60 VCC/30 W Ready – Entrées numériques , sélection jusqu'à 4x24 VCC libre Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220...
- Page 18 Position montée au choix Poids (unité d'analyse avec TMP, PKR 11,8 et PrismaPlus, sans système d'admission) Tableau 5.1 : Fiche technique du SPM 220 Interface de vanne sans SVV 040 PM Mise en action électropneumatique Air comprimé...
- Page 19 Fiche technique 5.3 QME 220 QME 220 Système de mesure – Canaux de mesure – Modes de mesure Scan analog, Scan Bargraph, MID, MCD – Cycles de mesure Monocanal/Multicanaux 1...9999 cycles ou Repeat – Vitesse de mesure – Scan analog+Bargraph Peak 20 ms/u...60 ms/u –...
- Page 20 Fiche technique 5.5 Module d'entrée/sortie IO 220 IO 220 Entrées analogiques – Raccordement (« Analog I/O ») X7, connecteur D-Sub 15 pôles – Nombre de canaux – Configuration d'entrée différentielle – Plage de tension d'entrée nominale ±10 V, max. ±14 V à la terre –...
- Page 21 Fiche technique Le nombre réel de sorties/d'entrées numériques dépend du système d'admission de gaz utilisé. En cas d'opération manuelle, les 16 sorties numériques sont toutes disponibles ; en cas d'opération électropneumatique, ce nombre est de 13 (les sorties numériques 14-16 sont utilisées pour la commande). En cas d'opération manuelle, toutes les entrées numériques sont disponibles.
- Page 22 Fiche technique 5.11 Dimensions SPM 220 * uniquement pour les options avec commande de vanne électropneumatique 5.12 Affectation des connecteurs IO 220 Digital I/O VACUUM VACUUM...
- Page 23 Fiche technique REMARQUE Pour l'option PT M5x x7x, cette sortie n'est pas disponible. Veuillez tenir compte de la section « VCU 220 », page 25 Pour l'option PT M5x x6x, la sortie « X2 » peut être utilisée sans restriction. L'affectation des broches du PrismaPlus™...
- Page 24 Fiche technique VCU 220 Le port « Digital I/O » dispose, à quelques exceptions près, de toutes les entrées et sorties du port « X2 » du module IO 220. Ainsi, les canaux d'E/S du module IO 220 sont librement disponibles, de façon limitée. ATTENTION Destruction du système d'admission de gaz Si les sorties numériques DO1-DO3 sont utilisées, à...
- Page 25 PT M5x x7x) non disponible Pour l'intégration du SPM 220 dans des concepts de commande existants (p. ex. commande programmable), l'entrée de commande « External » est disponible. A l'aide de circuits à relais ou à collecteur ouvert, les broches de l'entrée peuvent être pontées pour activer ou désactiver les vannes correspondantes.
- Page 26 Fiche technique Broche Description D-Sub 15 pôles 24 V CC 24 V CC 24 V CC REMARQUE Si vous n'utilisez aucune commande externe, le connecteur « External » fourni doit être inséré dans la douille correspondante du Valve Control Unit. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes pour libérer la commande de vanne.
- Page 27 Fiche technique Broche Description D-Sub 9 pôles BRU 220 Vue arrière de la BRU 220 L'unité de commande du système (Base Rack Unit) offre la possibilité d'intégrer le SPM 220 dans une commande existante (p. ex. une commande programmable). Le raccordement s'effectue au niveau du connecteur D-Sub «...
- Page 28 Verrouillage du chauffage REMARQUE Pour mettre en service le SPM 220, tous les verrouillages doivent être activés. Si vous utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante. Ce connecteur Sub-D dispose de ponts internes...
- Page 29 Fonction L'interface de vanne se compose d'1 vanne. Avec la vanne de sécurité SVV 040 PM, le SPM 220 peut être séparé de la chambre de processus en cas de défaut ou de remontée de pression trop importante. Ainsi, le spectromètre de masse et le système de pompage sont protégés efficacement.
- Page 30 Systèmes d'admission de gaz Pour exécuter l'extension, lancez le Add-In Manager ( [1]) et sélectionnez « HPA_SPM_Valve_Control ». Fig. : Gestionnaire d'extension (Add-In Manager) du logiciel Quadera (l'illustration est fonction de l'extension installée) Une fois lancé, une fenêtre s'ouvre pour demander de choisir entre une opération manuelle ou externe.
- Page 31 Systèmes d'admission de gaz L'extension reste active en arrière-plan également si la fenêtre relative à la commande de vanne est fermée. Pour afficher à nouveau la fenêtre de commande, lancez la macro « Show_Valve_Control » Fig. : Gestion macro dans logiciel Quadera Informations relatives au lancement de macros :...
- Page 32 Mise en service 7 Mise en service DANGER Produit endommagé La mise en service d'un produit endommagé peut représenter un risque pour la vie. En cas de dommages visibles, sécurisez le produit contre un fonctionnement involontaire. REMARQUE Attention : composants pour le vide L'encrassement et les dommages altèrent le fonctionnement des composants pour le vide.
- Page 33 Mise en service AVERTISSEMENT Si la bride de montage n'est pas mise à la terre, la bride de la QME (vis de mise à la terre M4) doit être reliée à la terre au moyen d'une ligne de mise à la terre séparée. ...
- Page 34 Mise en service Raccordement électrique DANGER Attention : tension secteur Des produits dont la mise à la terre n'est pas effectuée de manière appropriée peuvent représenter un risque pour la vie en cas de dysfonctionnement. Raccordez et mettez à la terre le produit conformément aux prescriptions locales ! AVERTISSEMENT Toutes les connexions électriques doivent être soulagées de tension.
- Page 35 Mise en service REMARQUE Nous recommandons de supporter l'ensemble du système sous la HiPace 80 ou le VCU 220 (selon l'option). Veillez à un positionnement sûr de l'appareil. Pour l'option avec vanne à commande électropneumatique, de l'air comprimé est nécessaire. Un raccord fileté 1/8" est disponible sur cette vanne pour la connexion avec le système à...
- Page 36 Mise en service • Reliez la sortie « PrismaPlus » de la BRU à l'entrée 24 V du PrismaPlus™. Utilisez le câble portant l'inscription « PrismaPlus ». • Reliez la sortie « Diaphragm Pump » de la BRU à l'entrée secteur de la MVP. Utilisez le câble portant l'inscription «...
- Page 37 Mise en service • Reliez la sortie « DO1 » du contrôleur de la turbopompe sur la face supérieure du connecteur D-Sub à l'entrée « Switch Point » de la BRU. Utilisez le câble portant l'inscription « Switch Point ». •...
- Page 38 « B2 ». Celui-ci se trouve sur les contrôleurs des turbopompes. Utilisez le câble « venting valve ». • Si vous utilisez le SPM 220 sans appareil/commande externe, insérez le connecteur « User » fourni dans la douille correspondante de l'unité de commande du système (Base Rack Unit).
- Page 39 Mise en service • Si vous utilisez l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit) sans commande externe, insérez le connecteur « External » fourni dans la douille correspondante de l'appareil de commande de vanne (Valve Control Unit). • Pour les options avec chauffage, reliez-les avec la sortie « Heater » de la BRU. Raccordez également l'alimentation en courant de la chemise chauffante à...
- Page 40 8.2 SPM 220 Insérez le connecteur de réseau Le SPM 220 est mis en circuit par l'interrupteur principal sur la face avant de l'unité de commande du système. La pompe à diaphragme démarre automatiquement et évacue les enceintes. La...
- Page 41 DCU intégré dans la BRU 220. [7] 8.3 Commande de vanne Pour la variante du SPM 220 avec vanne de sécurité électropneumatique, la vanne est commandée par le biais d'une sortie numérique du PrismaPlus et le VCU 220. Dans ce cas, l'opération s'effectue à...
- Page 42 Opération 8.7 Mise hors circuit Si cela n'a pas encore été réalisé, désactivez le filament du PrismaPlus via le logiciel Quadera. Séparez la connexion vers l'appareil et fermez le logiciel Quadera [1] Mettez hors circuit le chauffage et le PrismaPlus™ avec les interrupteurs correspondants sur la face avant de l'unité...
- Page 43 Entretien / Service après-vente 9 Entretien / Service après-vente Pfeiffer Vacuum vous propose un service après-vente haut de gamme. • Changement de fluide d'exploitation et remplacement des paliers sur place, grâce à notre SAV de terrain (FieldService) • Maintenance / Réparation dans un ServiceCenter ou ServicePoint proche de chez vous •...
- Page 44 Entretien / Service après-vente 9.1 QME La filtre à poussières au niveau de l'admission d'air doit être nettoyé dès qu'une couche nettement visible s'est accumulée. Utilisez un aspirateur pour éliminer la poussière du filtre. Pour ce nettoyage, la QME peut rester sur le QMA. Pour le nettoyage extérieur, un chiffon légèrement humide suffit normalement.
- Page 45 Entretien / Service après-vente 9.2 Changer le réservoir du fluide d'exploitation HiPace 80 AVERTISSEMENT Risque d'intoxication en cas de contact avec des substances dangereuses pour la santé Le réservoir du fluide d'exploitation et certaines parties de la pompe peuvent contenir des substances toxiques provenant des fluides pompés ...
- Page 46 Accessoires et pièces de rechange 10 Accessoires et pièces de rechange 10.1 Accessoires et pièces de rechange du PrismaPlus™ [2] 10.2 Accessoires et pièces de rechange de la HiPace 80 10.3 Câble de raccordement Longu Pos. Désignation Référence Câble d'interface M12 PM 061-283-T Câble de raccordement BRU/TC...
- Page 47 Changez le réservoir du fluide d'exploitation. Faites remplacer les paliers. Tenez compte des consignes de maintenance puis prévenez le SAV Pfeiffer Vacuum. Vérifiez l'encrassement et l'humidité de l'ensemble du système. Nettoyez les surfaces extérieures de l'ensemble du système avec un chiffon non pelucheux, additionné...
- Page 48 Ces composants doivent être triés selon leur nature (type de contaminés matériau) et déposés au recyclage. 13 Dysfonctionnements Si des dysfonctionnements se produisent au niveau du SPM 220, vous trouverez dans le tableau suivant des causes possibles et des instructions pour y remédier. 13.1 Dépannage Problème Cause possible Dépannage...
- Page 49 » L'élimination des dysfonctionnements des composants individuels est régie par les consignes du mode d'emploi correspondant. En cas de questions, contactez le SAV Pfeiffer Vacuum.
- Page 50 Annexe 14 Annexe 14.1 Schémas fonctionnels Représentation schématique de la BRU Gate valve open/close > Switch Main on/off V1 open/close > TPG 26x 100-240 VAC V2 open/close > (Option) < 100-240 VAC, switched Switch on/off Heater PrismaPlus (Option) 24 VDC 24V Prisma+ switched TPS 311 Switch heater...
- Page 51 Annexe 14.2 Bibliographie [1] www.pfeiffer-vacuum.com Quadera Help (contient le CD-R) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [2] www.pfeiffer-vacuum.com Mode d'emploi Spectromètre de masse compact PrismaPlus QMG220 BG5214BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [3] www.pfeiffer-vacuum.com Instructions pour la communication Prisma™...
- Page 52 Tube de mesure compact PKR 251 BG5155BFR http://www.pfeiffer-vacuum.de/produkte/messgeraete/activeline/container.action [10] www.pfeiffer-vacuum.de Mode d'emploi Vanne de régulation entièrement métallique UDV 040 BP5003BFR Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Allemagne [11] www.vatvalve.com Mode d'emploi Palette Mini UHV Vanne RGA 250986DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Suisse ...
- Page 53 Déclaration sur la contamination des appareils sous vide et de leurs composants Téléchargement du formulaire sous www.pfeiffer-vacuum.com...
- Page 54 2006/95/CE relative au matériel électrique. Le représentant autorisé pour la constitution du dossier technique est M. Dr Falk Braunschweig, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Sputter Process Monitor SPM 220 Directives appliquées, normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :...
- Page 55 Leading. Dependable. Pfeiffer Vacuum stands for innovative and custom Customer Friendly vacuum solutions worldwide. For German engineering art, competent advice and reliable services. Ever since the invention of the turbopump, we´ve been setting standards in our industry. And this claim to leadership will continue to drive us in the future.