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p [hPa]
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-3
1E-2
Fig. 9:
Pression affichée
Dans le domaine de pression < 1 hPa, l'affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
Type de gaz
Azote (N
)
2
Air
Hydrogène (H
)
2
Hélium (He)
Argon (Ar)
Dioxyde de carbone (CO
Tab. 12:
Facteurs de calibrage pour la plage de pression < 1 hPa
Lire et régler le facteur de calibrage Pirani [P:742]
► Lisez le facteur de calibrage actuel via le paramètre [P:742].
► Via le paramètre [P:742], réglez le facteur de calibrage sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0
avec 2 décimales.
– Exemple : Facteur de calibrage 0,20 = 000020
– Exemple : Facteur de calibrage 1,00 = 000100
– Exemple : Facteur de calibrage 8,00 = 000800
1E-1
1E0
)
2
H 2
N 2
Ar
1E1
1E2
p
[hPa]
eff
Facteur de calibrage (C)
1,0
1,0
0,58
1,02
1,59
0,89
Fonctionnement
1E3
29/52
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