Publicité
Fonctionnement
Type de gaz
Hélium (He)
Argon (Ar)
Dioxyde de carbone (CO
Tétra fluorométhane (CF
Tab. 7:
Domaine de pression < 10
Dans le domaine de pression < 10
Type de gaz
Hélium (He)
Hydrogène (H
Argon (Ar)
Dioxyde de carbone (CO
Propane (C
Néon (Ne)
Krypton (Kr)
Xénon (Xe)
Dichlorodifluorométhane (CCl
Tétra fluorométhane (CF
Tab. 8:
Utilisation des facteurs de correction
Saisie du facteur de correction dans l'appareil de commande et de mesure de pression totale
► Saisissez le facteur de correction pour corriger la valeur mesurée qui est affichée.
Calcul de la pression de gaz autres que l'air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
6.5 Exécution du dégazage
Pendant le process étuvé, la jauge continue à fournir des valeurs de mesure, cependant elles auront
une valeur de tolérance légèrement plus élevée que pendant le fonctionnement normal.
La contamination de la jauge dépend des éléments suivants :
● Pression dans la chambre de vide
● Type de fluide de procédé
● Toute contamination existante ou nouvellement accumulée et de sa pression partielle (par exem-
28/50
)
2
, R14)
4
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
-3
hPa (gamme d'ionisation)
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
)
2
)
2
H
)
3
8
F
2
, R14)
4
Facteurs de correction pour HIMS
P
= C × p
eff
● P
= Pression efficace
eff
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l'air)
Garantie
Tout dysfonctionnement de l'équipement résultant directement d'une contamination et de
l'usure n'est pas couvert par la garantie.
ple, vapeurs, particules de procédé, etc.)
Facteur de correction (C)
1,02
1,59
0,89
0,95
-3
hPa, l'affichage est linéaire.
, R12)
2
Facteur de correction (C)
5,93
2,39
0,80
0,74
0,32
3,50
0,60
0,41
0,28
0,57
Publicité
