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Pfeiffer Vacuum PBR 360 Manuel De L'utilisateur page 43

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15 Caractéristiques techniques et dimensions
15.1 Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 11:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 12:
15.2 Fiche technique
Paramètre
Gamme de mesure (air, N
Plage de transition (cathode chaude –
Pirani)
Pression de démarrage
(émission)
Pression de désactivation
(émission)
Précision
Répétabilité
Pression maximum (absolue)
Principe de mesure
Nombre de filaments chauffés
Matière du filament
Temps de réponse
Tab. 13:
mbar
bar
1
1 · 10
1,000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1.69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
)
2
Valeurs de mesure et de pression
Caractéristiques techniques et dimensions
Pa
hPa
-3
100
1
1,000
1 · 10
5
1
0,01
-5
100
1
-3
1,000
10
-3
133,32
1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1.69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
Haut (départ usine)
Bas
Dur
Haut (départ usine)
Bas
Dur
Haut (départ usine)
Bas
Dur
1 × 10
-8
– 10 hPa
10 à 1000 hPa
-8
-2
1 × 10
– 1 × 10
hPa
1 × 10
-2
– 10 hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,1
0,75
100
750
1 · 10
-3
7.5 · 10
-3
0,1
0,75
1
7,5
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1.67 · 10
1
1,32
0,76
1
Valeur
5 × 10
-10
– 1 000 hPa
5 × 10
–3
– 1 × 10
-2
hPa
1 × 10
–3
– 2 × 10
-3
hPa
Commutation directe
1,3 × 10
-2
hPa
-3
2,6 × 10
hPa
4,0 × 10
-4
hPa
1,5 × 10
-2
hPa
3,0 × 10
-3
hPa
5,2 × 10
-4
hPa
±10% de la valeur mesurée
±30% de la valeur mesurée
±5% de la valeur mesurée
±2% de la valeur mesurée
≤ 400 kPa, limité aux gaz inertes et
aux températures < 50 °C
Amenée de chaleur selon Pirani et
Bayard-Alpert
2
Iridium, revêtement Y
O
2
3
50 ms
3
/s
-2
43/50

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