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Description du produit
5 × 10
Fig. 2:
Le point de commutation P
diminue. Le point de commutation P
pression augmente. La zone de transition entre P
jauge utilise proportionnellement à la fois le système de mesure Pirani et le HIMS pour déterminer la
pression. La proportion de Pirani diminue lorsque la pression diminue. Dans la position de commutation
« dure », la commutation entre Pirani et HIMS est immédiate, sans transition.
3.1.4 Système de mesure Bayard-Alpert
Le système d'électrodes selon Bayard-Alpert est conçu pour une limite de rayons X basse. Les élec-
trons émis par le filament (F
la chambre de mesure. Le collecteur d'ions (IC) acquière le courant d'ions I
dans l'amplificateur de l'électromètre dans le système électronique de la jauge. Le courant d'ions dé-
pend du courant d'émission I
I
= I
+
Le facteur C désigne la sensibilité de la jauge. Déterminé pour l'azote (N
signal de sortie qui dépend logarithmiquement de la pression. La limite de mesure basse est de
5 × 10
rant d'émission et l'amplification du signal sont adaptés au domaine de pression. Dans le domaine des
hautes pressions, on utilise des courants d'émission faibles, tandis que dans la gamme des basses
pressions, on utilise des courants d'émission élevés. Après la commutation, la valeur de la pression
reste inchangée pendant une courte période, jusqu'à ce que la nouvelle condition se soit stabilisée.
La jauge est munie de deux filaments. En cas de défaillance du premier filament, une permutation auto-
matique vers le second filament se produit.
Fig. 3:
F
1
IC
EC
3.1.5 Système de mesure Pirani
La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physi-
que est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un
circuit de pontage à calibrage automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène
est l'élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa
16/50
Hot cathode
-10
hPa
Configuration de mesure
correspond au point auquel le HIMS se met en marche lorsque la pression
on
ou F
1
, du type de gaz et de la pression de gaz p selon la relation suivante :
e
× p × C
e
-10
hPa. Afin de couvrir de manière significative toute la plage de 5 × 10
IC
EC
F
V
FIL
Conception du système de mesure Bayard-Alpert
und F
Filaments 1 et 2 (cathodes chaudes)
2
Collecteur d'ions (collecteur)
Collecteur d'électrons (grille d'anode)
Pirani
1000 hPa
correspond au point auquel le HIMS est désactivé lorsque la
off
et P
upper
) ionisent un nombre de molécules proportionnel à la pression dans
2
F
F
V
AN
V
V
est la plage de pression dans laquelle la
lower
ainsi généré et l'injecte
+
), il est pris en compte pour le
2
-10
à 1 × 10
EC
F
IC
Tension de référence du filament
FIL
Tension sur l'anode
AN
-2
hPa, le cou-
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