Bedienung - Varian Turbo-DRY 65 Notice De Mode D'emploi

ANMERKUNG
Die Turbo-DRY-Einheit mufl so installiert werden,
dafl eine unbehinderte
gesamten Einheit gew‰hrleistet ist.
Die Turbo-DRY-Einheit darf nicht in Umgebungen
installiert bzw.
Witterungseinfl¸ssen
Staub und aggressiven Gasen ausgesetzt sind und
in denen Explosions- und erhˆhte Brandgefahr
besteht.
Die Turbo-DRY-Einheit mufl in einer stabilen Lage
installiert werden,
Turbopumpe mufl
Gegenflansch angeschlossen werden. Die Pumpe
mufl um die eigene Achse einem Drehmoment von
200 Nm standhalten.
Hinsichtlich genauerer Angaben zum Anschlufl der
Turbopumpe an die Vakuumkammer wird auf die
entsprechenden technischen
verwiesen.

BEDIENUNG

! ! ! !
Betrieben Sie die Turbopumpe nie, ohne dafl der
Einlaflflansch an die Anlage angeschlossen oder
geˆffnet ist.
!
ACHTUNG!
Jeder Betrieb der Turbo-DRY-Einheit in einer
Umgebung, die keine ausreichende Luftk¸hlung
gew‰hrleistet, ist in jedem Fall zu vermeiden.
Die f¸r den
Hˆchsttemperatur betr‰gt 120iC.
In den nachstehenden Abschnitten wird die
Bedienung der Einheit beschrieben.
Zu- und Abschaltung der Turbo-DRY-Einheit
Dr¸cken Sie zur Zu- und Abschaltung der Turbo-
DRY-Einheit die auf der vorderen Schalttafel
befindliche Taste ìPOWERî.
Die erfolgte Zuschaltung der Turbo-DRY-Einheit
wird durch Aufleuchten
Leuchtschalters angezeigt.
Luftzirkulation
benutzt werden,
(Regen, Frost, Schnee),
der Einlaflanschlufl
an einen feststehenden
Anleitungen
GEFAHR!
Einlaflflansch geltende
des weiflen
Betrieb in ìLow Speedî-Status
Dr¸cken Sie die auf der vorderen Schalttafel der
Turbo-DRY-Einheit befindliche Taste ìLow Speedî,
der
um die
Betriebsgeschwindigkeit zu versetzen.
Die Zuschaltung
die
Betriebsgeschwindigkeit wird durch Aufleuchten
des gr¸nen Leuchtschalters angezeigt.
Normalbetrieb
W‰hrend des normalen Betriebs der Turbo-DRY-
Einheit sind
der erforderlich. Das auf der vorderen Schalttafel der
Turbo-DRY-Einheit befindliche gr¸ne LED leuchtet
auf, wenn die Pumpe die jeweils maximal
zul‰ssige Rotationsgeschwindigkeit erreicht hat
(sowohl im ìLow Speedî-Status als auch bei hohen
Betriebsgeschwindigkeiten).
Betriebsstˆrungen
Sobald eine Betriebsstˆrung vorliegt, wird dies
durch Aufleuchten des auf der vorderen Schalttafel
befindlichen gelben LEDs angezeigt.
In diesem Fall mufl die Turbo-DRY-Einheit sofort
¸ber den Hauptschalter abgeschaltet werden.
Abschaltung in Notf‰llen
Zur Abschaltung in besonderen Notf‰llen, wenn
beispielweise der Hauptschalter ìPOWERî defekt
sein sollte, kann die Turbo-DRY-Einheit ¸ber
Ziehen des Netzsteckers abgeschaltet werden.
WARTUNG
Die Turbo-DRY-Einheit ist wartungsfrei. Eventuell
erforderliche Eingriffe m¸ssen von dazu befugtem
Fachpersonal ausgef¸hrt werden.
Wenden Sie sich bei Stˆrungen einer zur Turbo-
DRY-Einheit
Varian-Kundendienst.
7
BEDIENUNGSANLEITUNG
Turbpumpe in
der
keine besonderen
gehˆrenden Baugruppe
87-900-895-01(A)
langsame
langsamen
Vorg‰nge
an den