Inficon TC3000S Traduction Du Manuel D'utilisation Original page 11

INFICON
Ex
TC3000S-Manuel d'instructions-mimb95fr1-10-(2007)
Schéma d'installation
2
3
1
1 Air sortant, unité de commande du vide
2 Air sortant (raccord « INLET »)
TC3000S
4
GCU
3 Air entrant (raccord
« VENT »)
4 Raccord de détecteur de
proximité
Installation | 5
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