Table des Matières
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Programme de maintenance
Le tableau suivant indique les opérations de maintenance périodique
nécessaires pour assurer les performances optimales de l'instrument.
Les fréquences de maintenance indiquées s'appliquent aux instruments
soumis à une utilisation modérée.
Programme de maintenance :
Procédure
Nettoyage du boîtier de
l'instrument.
Vidange du flacon du piège de
l'échappement d'azote.
Maintenance des pompes de
prévidage Oerlikon Leybold.
Délestage des pompes de
prévidage Oerlikon Leybold.
Remplacement de l'huile et
des séparateurs de
gouttelettes des pompes de
prévidage Oerlikon Leybold.
Délestage de la pompe de
prévidage Edwards.
Remplacement des joints de la
pompe à spirale sèche.
Nettoyage des composants de
la source.
Fréquence
Selon les besoins.
Vérifiez quotidienne-
ment et videz si néces-
saire.
Selon les besoins. Au
moins une fois par mois.
Selon les besoins. Au
moins une fois par mois.
Une fois par an.
Selon les besoins. Au
moins une fois par mois.
Une fois par an.
Dès que la sensibilité
atteint un niveau
inacceptable.
11 janvier 2016, 715004159FR Rév. C
Programme de maintenance
Pour plus
d'informations...
Consultez la
page
130.
Consultez la
page
279.
Consultez la
page
281.
Consultez la
page
282.
Consultez la
page
286.
Consultez la
page
294.
Consultez le
manuel
d'instructions
Edwards XDS46i
Instruction
Manual
A730-01-880.
Consultez la
page
130.
113
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Chapitres
Table des Matières
