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Section 3 Exemples de contrôles types
Niveau Réglage
bank
0
l.adj
cp
Période de
contrôle (chaud)
20.0
0.2
D
l.adj
■ Réglage
3-4
6. Appuyez sur la touche L moins d'une seconde pour passer de "Niveau
RUN" à "Niveau de réglage".
7. Appuyez plusieurs fois sur M pour sélectionner "cp : Période de contrôle
(chaud)", puis appuyez sur D pour sélectionner "0,2".
Pour régler les constantes PID, exécutez AT.
Pour plus d'informations, voir "4.10 Détermination des constantes PID
(AT, paramètres manuels)" (P.4-19).
Si le dépassement de régulation de température (réponse
à une perturbation) est trop élevé après avoir positionné
Conseil
le wafer, il peut être ajusté en utilisant la fonction de
réglage de dépassement en cas de perturbations.
Pour plus d'informations sur la fonction de réglage de
dépassement en cas de perturbations. Voir "5.2 Fonctions
de contrôle" (P.5-8).
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Chapitres
