Table des Matières
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TriScroll
Dry Scroll
Vacuum Pump
Manual No. 699904290
Revision P
November 2014
600 Series
TM
Vacuum Products Division
INSTALLATION AND
OPERATION MANUAL
INSTALLATIONS- UND
BETRIEBSHANDBUCH
MANUEL D'INSTALLATION
ET D'OPÉRATION
MANUAL DE INSTALACIÓN Y
FUNCIONAMIENTO
MANUALE
D'INSTALLAZIONE E D'USO
取付と操作仕様書
安装和操作手册
설치 및 조작안내서
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Table des Matières
Manuels Connexes pour Agilent Technologies TriScroll 600 Série
Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TriScroll 600 Série
- Page 1 Vacuum Products Division TriScroll 600 Series INSTALLATION AND OPERATION MANUAL Dry Scroll INSTALLATIONS- UND Vacuum Pump BETRIEBSHANDBUCH MANUEL D'INSTALLATION ET D'OPÉRATION MANUAL DE INSTALACIÓN Y FUNCIONAMIENTO MANUALE D'INSTALLAZIONE E D'USO 取付と操作仕様書 安装和操作手册 설치 및 조작안내서 Manual No. 699904290 Revision P November 2014...
- Page 2 ™ TriScroll 600 Series Dry Scroll Vacuum Pump TriScroll is a trademark of Agilent, Inc. Copyright 2014 Agilent Inc.
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Page 3: Table Des Matières
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Table of Contents Warranty ..............vii Istruzioni per l'uso............18 Warranty Replacement and Adjustment....vii Informazioni generali ..........18 Conservazione ............18 Instructions for Use ............. 1 Disimballaggio ed ispezione ........18 General Information ..........1 Requisiti per l'installazione ........19 Storage ..............1 Sicurezza ............19 Unpacking and Inspection........ - Page 4 TriScroll 600 Series Vacuum Pump Technical Information ..........34 Electrical Connections..........37 Single Phase Motor Connection......37 Three Phase Motor Connection ......38 Mechanical Connections........39 Pump Location ........... 39 Rotation of the Pump Inlet with Respect to the Motor Frame ......39 Pump Inlet............
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Page 5: List Of Figures
TriScroll 600 Series Vacuum Pump List of Figures List of Tables Figure Caption Page Table Title Page Interface Drawing with Dimensions ..35 Pump Models and Power Cords ..... 3 Pumping Speed Curves ....35 Circuit Breaker Requirements...... - Page 6 TriScroll 600 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 7: Warranty
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Warranty Warranty Replacement and Adjustment Products manufactured by Seller are warranted against defects in materials and workmanship for twelve (12) All claims under warranty must be made promptly after months from date of shipment thereof to Customer, and occurrence of circumstances giving rise thereto, and must Seller’s liability under valid warranty claims is limited, at be received within the applicable warranty period by... - Page 8 TriScroll 600 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 9: Instructions For Use
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Instructions for Use General Information Unpacking and Inspection This equipment is designed for use by professionals. The The shipping container is a double carton. user should read this instruction manual and any other 1. After opening the outer box, remove the foam packing. additional information supplied by Agilent before 2. -
Page 10: Installation Requirements
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Installation Requirements During operation, the following environmental conditions should not be exceeded: Safety Temperature: +5 °C to +40 °C (41 °F to 104 °F) Do not remove or modify any safety or insulating Relative humidity: 0 to 95% (non-condensing) equipment from the pump. -
Page 11: Pump Models And Power Cords
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Table 1 lists the available TS-600 pump models and Three phase pumps are shipped without a power cord. indicates the power cord to be used with each particular A three phase power cable kit, Agilent part number pump. -
Page 12: Operation
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Operation Maintenance In order to reach ultimate vacuum, the pump must be left Personnel responsible for pump operation and running for about one hour with the inlet sealed. maintenance must be well-trained and aware of the accident prevention rules. -
Page 13: Anleitungen Zur Benutzung
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Anleitungen zur Benutzung Allgemeine Informationen Auspacken und Inspektion Dieses Gerät ist zur Benutzung durch Fachkräfte Beim Versandbehälter handelt es sich um einen bestimmt. Der Benutzer muss vor der Bedienung des doppelten Karton. Gerätes das Anleitungshandbuch und alle zusätzlichen 1. -
Page 14: Installationsanforderungen
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Installationsanforderungen Während des Betriebes dürfen die folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Sicherheit Temperatur: + 5 °C bis + 40 °C (41 °F bis 104 °F) Sicherheits- oder Isoliervorrichtungen dürfen nicht von Relative der Pumpe entfernt oder modifiziert werden, da sonst Feuchtigkeit: 0 bis 95 % (nicht kondensierend) schwerwiegende Sicherheitsrisiken entstehen und die... - Page 15 TriScroll 600 Series Vacuum Pump In Tabelle 3 sind die lieferbaren TS-600 Pumpenmodelle Dreiphasenpumpen werden ohne aufgeführt. Die Tabelle enthält außerdem Informationen Spannungsversorgungskabel geliefert. Ein zu den Spannungsversorgungskabeln, die mit jeder Dreiphasen-Kabelsatz, Agilent Teilenummer S4789001, einzelnen Pumpe verwendet werden müssen. ist lieferbar.
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Page 16: Betrieb
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Betrieb Wartung Um ein optimales Vakuum zu erreichen, muss die Pumpe Das für den Betrieb und die Wartung der Pumpe für etwa eine Stunde mit abgedichtetem Einlass laufen. zuständige Personal muss gut geschult und mit den Regeln zur Unfallvermeidung vertraut sein. -
Page 17: Instructions D'utilisation
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Instructions d'utilisation Informations générales Ce manuel utilise le protocole des normes de sécurité suivant: Cet équipement est conçu pour être utilisé par des ADVERTISSEMENT Les messages d'avertissement visent professionnels. L'utilisateur est tenu de lire ce manuel à... -
Page 18: Déballage Et Inspection
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Déballage et Inspection Exigences d'installation Le conteneur d'expédition est un carton double. Sécurité 1. Après l'ouverture de la boîte extérieure, retirez le Ne retirez pas ni ne modifiez l'équipement de sécurité ou bourrage de mousse. d'isolation de la pompe. - Page 19 TriScroll 600 Series Vacuum Pump Pendant l'opération, les conditions environnementales ATTENTION Lorsqu'elle est fournie par l'usine, la suivantes ne doivent pas être dépassées : pompe est configurée tel qu'indiqué Température : +5 °C à +40 °C (41 °F à 104 °F) dans le tableau suivant.
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Page 20: Coupe-Circuits
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Coupe-circuits Table 6 indique la capacité des coupe-circuits requis pour les moteurs des pompes de différentes tensions, ADVERTISSEMENT Protégez-vous contre les courts-cir- monophasés et triphasés. cuits en installant un coupe-circuit Table 6 Exigences des coupe-circuits de la capacité... -
Page 21: Opération
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Opération Entretien Afin d'atteindre le vide complet, la pompe doit Le personnel responsable de l'opération et de l'entretien fonctionner pendant environ une heure avec l'entrée de la pompe doit être parfaitement formé et conscient des hermétiquement fermée. -
Page 22: Instrucciones De Uso
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Instrucciones de uso Información general Desembalaje e inspección Este equipos está diseñado para que lo utilicen El embalaje de transporte es un cartón doble. profesionales. El usuario debería leer este manual de 1. Tras abrir la caja exterior, retire la espuma protectora. instrucciones y cualquier otra información adicional 2. -
Page 23: Requisitos De Instalación
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Requisitos de instalación Durante su funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales no deben superarse: Seguridad Temperatura: +5 °C a +40 °C (41 °F a 104 °F) No desmonte ni modifique ninguno de los equipos de Humedad relativa: 0 a 95% (sin condensación) seguridad o aislamiento presentes en la bomba. - Page 24 TriScroll 600 Series Vacuum Pump La Tabla 7 enumera los modelos de bombas TS-600 Las bombas trifásicas se envían sin cable de corriente. disponibles e indica el cable de corriente que debe Está disponible un kit de cable de corriente trifásico, con utilizarse con cada bomba en concreto.
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Page 25: Funcionamiento
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Funcionamiento Mantenimiento Para alcanzar el vacío máximo, la bomba debe dejarse en El personal responsable del funcionamiento y funcionamiento durante aproximadamente una hora con mantenimiento de la bomba debe estar cualificado y ser la admisión a la misma sellada. consciente de las normativas de seguridad e higiene en el trabajo. -
Page 26: Istruzioni Per L'uso
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Istruzioni per l'uso Informazioni generali Disimballaggio ed ispezione Quest'attrezzatura è stata progettata per personale Il contenitore di spedizione consiste in un doppio specializzato. Prima di mettere in funzione l'attrezzatura, scatolone. l'utente deve leggere questo manuale di istruzioni e le 1. -
Page 27: Requisiti Per L'installazione
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Requisiti per l'installazione Durante il funzionamento, è opportuno rispettare i seguenti requisiti ambientali: Sicurezza Temperatura: da +5 °C a +40 °C (da 41 °F a 104 °F) Non rimuovere o modificare i sigilli di sicurezza o di Umidità... - Page 28 TriScroll 600 Series Vacuum Pump Nella tabella 9 sono elencati i modelli di pompe TS-600 e Le pompe trifasi vengono spedite senza il cavo di sono indicati i cavi di alimentazione da utilizzare con alimentazione. È disponibile un kit di cavi di ogni particolare pompa.
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Page 29: Funzionamento
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Funzionamento Manutenzione Al fine di raggiungere il vuoto massimo, la pompa deve Il personale responsabile del funzionamento e della funzionare per circa un'ora con l'ingresso sigillato. manutenzione della pompa deve essere ben addestrato e deve conoscere le regole per la prevenzione di incidenti. A differenza delle pompe convenzionali a tenuta d'olio, AVVERTENZA ❑... -
Page 30: 使用仕様
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 使用仕様 概況概要 開梱と点検 この設備は専門者に向っている。 ユーザーはこの設備を 梱包箱は二重ダンボールである。 操作する前にこの取付仕様書及び Agilent の提供する他 1. 外部梱包箱を開けた後、フォームプラスチックを の追加情報を良く読まなければならない。 これらの仕様 取外す。 に遵守しないこと、 訓練されていない人に間違って使用 2. 内部梱包箱を切り開く。 されること、許可されずにこの設備の運転を妨げるこ と、 或は特定の国家標準にある操作規範と相違して操作 3. ベニヤ板の台座でポンプを内部梱包箱から取外す。 することによる如何なる事故に対して、Agilent は責任 4. ポンプフレームをしっかりと固定する為のベニヤ を負わない。 板にある四つのボルトを取外す。 この TriScroll™ 600 はスクロール型ドライ真空ポンプ 5. NW25 排気管のコネクターを見出して、傍に置く。 である。このようなポンプは空気と希ガスに適用する。... -
Page 31: 取付要求
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 取付要求 操作する時は以下の環境要求を適わなければならない。 温度： +5 °C ～ +40 °C 安全 （5.00 °C ～ 40.00 °C） 安全設備と絶縁設備を取外す或は修正しないでくださ 相対湿度： 0 ～ 95% い。そうすると、重大の安全危険と修理保証の無効を誘 （凝結物無し） 発する可能性がある。 空気回路を塞げないでください。塞が 注意 このポンプは空気と希望ガスのみに 警告 ❑ るとポンプの温度が高すぎるようにな 適用する。爆発性ガス、可燃性ガス、 る。 ポンプの表面温度が 55 C (131 ° °... - Page 32 TriScroll 600 Series Vacuum Pump 表 11 に利用可能な TS-600 ポンプの型式を示す。ま 三相誘発ポンプは電源コードが付かないが、Agilent 部 た、特定ポンプの電源コードを指定する。 品の番号が S4789001 である三相電源コードキットを配 置する。このキットにはプラグを含まない。 表 11 ポンプ型式と電源コード ポンプ型 電動機電圧 プラグ型式 溶解切断 コンダクター コードマーク コード長さ サイズ PTS06001UNIV 100-115 VAC NEMA 5-15P 14 Gage UL/CSA 2.5 m PTS06001UNIVEU 200-230 VAC CEE 7/7 3x1.50 mm <HAR>...
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Page 33: スタートアップ手順
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 操作 保守 到達真空を実現する為に、 ポンプの入口を密封した場合 操作と保守の担当者は厳しく訓練されなければならな にポンプに約１時間ほど続いて運転さてください。 い。そして、事故防止規則を精通しなければならない。 従来の油回転（真空）ポンプと違って、Agilent のスク 高圧と接すると電撃死亡になる可能 警告 ❑ ロール型ドライ真空ポンプ は液体で蓄積される塵と破 性があるので、いつも有効的の事故防 片を浄化する必要がない。 空気の環境で一分或は二分ほ 止規則を遵守しなければならない。 どポンプを運転するとポンプのクリーニングを実現で 通電した後、部品を移動する場合は ❑ きる。定期的にポンプを浄化してください。特定の情況 よく注意して、特に高圧を注意してく に応じて、この時間を調整してください。 ださい。 ポンプが長時間ほど運転した後に保 ❑ ポンプの運転中、モータハウジングの 警告 守しないと、その表面温度が C55 ° 外面が高温になる場合があります。ポ (131 F) 以上になる可能性があるの °... -
Page 34: 使用说明
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 使用说明 一般信息 开箱和检查 本设备供专业人员使用。用户在操作本设备之前应阅读 包装箱为双层纸箱。 此安装手册以及 Agilent 提供的任何其它附加说明。对于 1. 打开外包装箱后，取出泡沫包装。 因不遵照这些说明、未经培训人员不当地使用、未经授权 2. 切开内包装箱。 而擅自干扰本设备操作或执行与特定国家标准要求的操 作相违反的操作而导致的任何事故， Agilent 概不负责。 3. 通过胶合板基座将泵抬出内包装箱。 该 TriScroll™ 600 为干涡管真空泵。 此泵适用于泵送空气 4. 卸下将泵架紧固至胶合板基座的四颗螺栓。 或惰性气体。该泵不用于泵送有毒气体、腐蚀性气体、爆 5. 找到 NW25 排气管接头并将其置于一边。 炸性气体或含颗粒状物质气体。 6. 检查泵是否在运输中遭受损坏。 以下章节提供使用本设备时确保操作人员安全的所有必 如果发现任何运输中造成的损坏，请立即与承运商... -
Page 35: 安装要求
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 安装要求 操作期间，不应超出以下环境条件： 温度： +5 ℃ 至 +40 ℃ (41 °F 至 104 °F) 安全 相对湿度： 0 至 95% ( 不冷凝 ) 请勿拆卸或改动泵中的任何安全或绝缘装置。否则，可能 注意 会造成严重的安全隐患并可能使保修失效。 请勿阻塞风道，否则可能会造成泵的温 度过高。 泵的表面温度若超过 55 ℃ 警告 此泵仅用于泵送空气和惰性气体，不 ❑ 就有可能造成损坏。如果观察 (131 °F) 用于泵送爆炸性气体、易燃气体、有毒... - Page 36 TriScroll 600 Series Vacuum Pump 表 13 列出了可用的 TS-600 泵型号，并指出每种特定泵 三相泵未随附电源电缆。可向客户提供 Agilent 部件号为 使用的电源电缆。 S4789001 的三相电源电缆套件。此套件不包括插头。 表 13 泵型号和电源电缆 泵型号 电动机 电压 插头类型 熔断 导体尺寸 电缆标记 电缆长度 100-115 VAC NEMA 5-15P UL/CSA 14 号标准直径 2.5 米 PTS06001UNIV 200-230 VAC CEE 7/7 3x1.50 毫米...
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Page 37: 启动过程
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 操作 维护 为了实现极限真空，必须在密封泵吸入口的情况下使泵 负责操作和维护泵的人员必须经过严格的培训，并且熟 保持运行大约一小时的时间。 悉事故预防规则。 与传统油封泵不同的是， Agilent 的干涡管泵无需使用液 警告 接触高压可能会遭受电击而致死。应 ❑ 体冲洗其中所沉积的灰尘和碎屑。在大气环境中定期运 始终格外小心并遵循有效的事故预防 行泵一或两分钟即可实现对泵的清洁。定期冲洗泵并根 规程。 据特定情况调整此时间安排。 机器通电后，须特别小心移动部件并 ❑ 注意高压。 警告 如果必须在泵操作相当长的时间之 ❑ 后对其进行维护，请等其冷却后再操 作， 因为外表面的温度可能超过 55 °C 。 (131 °F) 在开始维护工作之前，始终断开泵的 ❑ 电源。 启动过程 1. -
Page 38: 사용설명
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 사용설명 일반정보 포장 열기 및 검사 본 설비는 전문인원 사용으로 제공합니다 . 사용자는 본 포장 박스는 두 층으로 된 종이 박스입니다 . 설비를 조작하시기 전에 본 설치 안내서 및 Agilent 에서 겉 포장을 연 후 플라스틱 발포 포장을 꺼냅니다 . 제공한... -
Page 39: 설치요구
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 설치요구 조작기간에 하기의 환경요구를 넘지 말아 주십시오 : +5 °C 에서 +40 °C 까지 온도： 안전장치 (41 °F 에서 104 °F 까지 ) 펌프의 임의의 안전 및 절연장치를 뜯어내거나 고치지 말 상대습도： 0 에서 95% 까지 아... - Page 40 TriScroll 600 Series Vacuum Pump 표 15 에서는 사용이 가능한 TS-600 펌프 모델과 매개 특 삼상펌프에는 코드가 함께 들어있지 않고 Agilent 부품번 정 펌프에 사용되는 코드를 기록하였습니다 . 호가 S4789001 인 삼상전원 케이블공구세트를 제공하였 습니다 . 이 세트에는 플러그가 포함되지 아니합니다 . 깊...
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Page 41: 시동과정
TriScroll 600 Series Vacuum Pump 조작 유지 펌프를 조작 , 유지하는 인원은 엄격한 훈련을 거쳐야 하 극한 진공을 실현하기 위하여 반드시 펌프 흡입구를 밀폐 한 상태에서 펌프를 약 한 시간 가량 운행하여야 합니다 . 고 사고 방지 규칙에 익숙하여야 합니다 . 전통적인... -
Page 42: Technical Information
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Technical Information Table 17 Specifications Model TriScroll™ 600 Series Dry Scroll Vacuum Pump Interface dimensions See Figure 1 Peak pumping speed 50 Hz: 420 l/m, 25.2 m /hr (14.8 cfm) 60 Hz: 500 l/m, 30 m /hr (17.7 cfm) Media Clean air. - Page 43 TriScroll 600 Series Vacuum Pump 472 (18.57) Single Phase (1.48) Intake (NW40) 472 (18.56) Three Phase ø300 (ø11.80) (13.98) (7.25) (.85) (.50) (3.22) (4.13) Exhaust ( NPT) port swivels 360 NW25 Exhaust extension included but not installed (6.94) 145 (5.69) (4.02) 4 x ø11(ø.43) Thru Figure 1 Interface Drawing with Dimensions...
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Page 44: (Single Phase Pump Shown)
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Cowling Screws; M5 (3) Cowling Inlet (NW40) Inlet Screen NW25 Exhaust Adapter Bearing Purge Port (1/4" National Pipe Thread) Pump Frame Frame Screws; M6 (4) Gas Ballast Port (1/4" National Pipe Thread) 10. Mounting Holes; 11 mm diameter thru (8) 11. -
Page 45: Electrical Connections
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Electrical Connections Table 18 lists the full load motor currents at various voltages. Table 18 Full Load Motor Currents, Amperes 1 phase motor 100 V 115 V 200 V 230 V 50 Hz 13.6 60 Hz 15.2 12.6 3 phase motor... -
Page 46: Three Phase Motor Connection
TriScroll 600 Series Vacuum Pump CAUTION Wire the motor and electrical interlocks (if applicable) in accordance with local electrical codes and the relevant electrical component manufacturer’s instruc- tions. Be sure to disconnect the electrical supply before rewiring for a different voltage. Be sure the pump is wired correctly before applying power. -
Page 47: Mechanical Connections
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Mechanical Connections Pump Exhaust A female 1/4" National Pipe Thread exhaust fitting is Pump Location located underneath the scroll module. This fitting swivels 360 degrees. Additionally, an NW25 male adapter with Locate the pump on a firm, level surface. 3/8"... - Page 48 TriScroll 600 Series Vacuum Pump Overview The status of the VPI Valve is controlled by the TriScroll motor internal thermal switch and its electrical supply. The VPI Valve opens when the pump is running and closes when it is stopped. It will also close when the TriScroll motor thermal overload protection switch shuts down the pump.
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Page 49: Gas Ballast
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Wiring 2. Connect the VPI Valve solenoid wire leads to the pump motor as shown in Figure 4 or Figure 5. Using the data in Table 19, verify that the VPI Valve 3. Replace the motor electrical cover and secure it using chosen is compatible with the TriScroll supply voltage the three screws removed in step 1. -
Page 50: Troubleshooting
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Troubleshooting Table 20 contains a list of possible problems, their probable causes, and corrective actions. Table 20 Troubleshooting Chart Problem Probable Cause Corrective Action Pump won’t start Circuit breaker open Close breaker. Identify cause of overload. Motor thermal protector open Allow motor to cool. -
Page 51: Maintenance
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Maintenance General Information Agilent TriScroll 600 series pumps are designed to provide years of trouble-free service if maintenance procedures and intervals are observed. Bearing grease replenishment and tip seal replacement is recommended when pump base pressure has risen to an unacceptably high level for your application. -
Page 52: Factory Service Options
TriScroll 600 Series Vacuum Pump Factory Service Options Table 23 lists the factory-rebuild service and advance exchange of complete TriScroll 600 series pumps, as well as factory service options that Agilent offers. Table 23 Factory Service Options Factory Service Options Part Number Advance Exchange TriScroll 600 Single Phase (US cord) EXPPTS06001... -
Page 53: Triscroll 600 Series Vacuum Pump
Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. 1) Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to identify all products that have pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials. - Page 54 This page intentionally left blank. 4) HEALTH and SAFETY CERTIFICATION AGILENT TECHNOLOGIES CANNOT ACCEPT ANY PRODUCTS CONTAMINATED WITH BIOLOGICAL OR EXPLOSIVE HAZARDS, RADIOACTIVE MATERIAL, OR MERCURY AT ITS FACILITY. Call Agilent Technologies to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
- Page 55 Shipping Regulations (IATA, DOT, etc.) and carrier requirements. Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the defective, rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days. Failure to do so, or returning a non-rebuildable part (crashed), will result in an invoice for the non-returned/non-rebuildable part.
- Page 56 TriScroll 600 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 58: Service & Support
Service & Support North America India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Products Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park, Unit 201, Level 2 uptown 2,...