6
7
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Armazenagem 73
Preparação para a instalação 74
Instalação 75
Utilização
77
Manutenção
80
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84
Algemene informatie
Opslag
87
Uitpakken 88
Installatie 89
Gebruik
91
Onderhoud 94
Afvalverwerking 95
Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
Generel information 99
Opbevaring 101
Forberedelser før installation 102
Installation 103
Anvendelse 105
Vedligeholdelse 108
83
85
97
Contents
98
7/294