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Installation
Fig. 16:
1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire
2 Composants de vide DN 40 ISO-KF
3 Pompe primaire (p. ex. pompe rotative à deux étages)
Établissez le raccord de vide primaire
1. Avec des raccords tubulaires rigides, vous devez inclure un soufflet pour atténuer les vibrations
2. Installez un raccord de vide primaire avec des composants à petite bride, p. ex. éléments de rac-
3. Prenez des mesures contre le reflux des fluides d'exploitation ou des condensats de la zone de
4. Observez les informations du manuel de l'utilisateur de la pompe primaire ou du groupe de pom-
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Pompe primaire appropriée
Utiliser la pompe turbomoléculaire uniquement en combinaison avec une pompe primaire
appropriée générant le niveau de vide primaire requis. Utiliser pour générer le niveau de
vide primaire, une pompe à vide ou une station de pompage appropriée de la gamme Pfeif-
fer Vacuum.
Dans ce cas, la pompe primaire est commandée directement via les interfaces de l'unité
d'entraînement électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble
de connexion).
5
4
Exemple d'un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT
externes.
cordement et composants de tube DN 40 ISO-KF de la
vide primaire.
page lors du raccordement et du fonctionnement.
2
1
boutique de composants Pfeiffer
3
4
Anneau de serrage
5
Anneau de centrage
Vacuum.
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