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3 Description du produit
3.1 Fonction
La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l'unité d'entraînement électronique et le
bloc d'alimentation électrique intégré.
Le système de gestion de la température (TMS) prévient la condensation des résidus de processus par
l'intermédiaire du chauffage contrôlé du corps de pompe. Le système de refroidissement assure une
dissipation sûre et suffisante de la chaleur sans perte d'énergie pendant le processus de chauffage.
Fig. 2:
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10 Sonde de température
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Construction de la pompe turbomoléculaire 3400 IT | IUT avec TC 1200
Raccord de vide élevé, DN 320 ISO-F
Manchon chauffant TMS
Boîtier TMS
Obturateur de protection du raccord de vide
primaire
Pompe du fluide d'exploitation en position U
Unité de commande électronique
Boulon à œillet
Alimentation électrique, boîtier TMS
Manchon chauffant TMS
3
4
5
16
15
14
11
Obturateur de protection de la connexion de
vide secondaire
12
Borne de connexion de masse
13
Vanne de la purge de gaz
14
Vis de ventilation
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Alimentation électrique, unité d'entraînement
électronique
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Raccordement d'eau de refroidissement, ar-
rivée
17
Raccord d'eau de refroidissement, sortie
18
Pompe duà fluide d'exploitation pour version
standard
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Raccord de vide primaire DN 40 ISO-KF
Description du produit
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