Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 3400 IT
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HIPACE 3400 IT
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HIPACE 3400 IT | IUT Pompe turbomoléculaire avec système de gestion de la température...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisation conforme Utilisations incorrectes envisageables Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Description du produit Fonction 3.1.1 Refroidissement 3.1.2 Paliers du rotor 3.1.3 Entraînement...
- Page 4 6.2.2 Fonctionnement via la connexion « E74 » 6.2.3 Fonctionnement via le raccordement multifonctions « à distance » 6.2.4 Fonctionnement via l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain Mise en marche de la pompe turbo Fonctionnement avec TMS 6.4.1 Connexion TMS...
- Page 5 Table des matières Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Dimensions Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 5/76...
- Page 6 Tab. 19: Dépannage des pompes turbomoléculaires Tab. 20: Pièces de rechange disponibles Tab. 21: Accessoires Tab. 22: Tableau de conversion : unités de pression Tab. 23: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Tab. 24: Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT 6/76...
- Page 7 La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exem- ple : Versions U Fig. 16: Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT Fig. 17: Établissement d’un raccordement d'eau de refroidissement avec des em- bouts droits Fig.
- Page 8 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appa- reil.
- Page 9 Plaque signalétique Les plaques signalétiques des modules individuels sont situ- D-35614 Asslar ées sur la partie inférieure de la pompe turbomoléculaire ou HiPace 3400 IT Mod. PM P06 544 des connexions correspondantes. - - - - - - - - PM 006 336 -T TÜV Rheinland...
- Page 10 A propos de ce manuel Raccord d’eau de refroidissement Cette étiquette indique la position de l’évacuation de l’eau de COOLING WATER OUT refroidissement de la pompe turbomoléculaire. Avertissement, surface chaude Cette étiquette met en garde contre les risques de blessure liés aux hautes températures à...
- Page 11 A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document Valeur diamètre (en mm) Appareil de commande et d’affichage Diamètre nominal comme désignation de grandeur Arrêt d’urgence Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) Unité...
- Page 12 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 13 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incor- rect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il existe dès lors un danger de mort.
- Page 14 Sécurité AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à l'oscillation, au basculement ou à la chute d'objets Une manipulation incorrecte pendant l'installation mécanique représente un risque d'oscillation, de basculement ou de chute de lourdes charges. Il y a un risque d'écrasement et de choc (p. ex. lié à la collision avec les connexions à...
- Page 15 Sécurité ATTENTION Risque de blessure lié au contact avec le vide pendant la mise à l'air Lors de la mise à l'air de la pompe à vide, il y a un risque de blessures bénignes lié au contact direct de certaines parties du corps avec le vide, p. ex. hématome. ►...
- Page 16 Sécurité AVERTISSEMENT En mettant les mains dans la connexion de vide secondaire ouverte, risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement Une manipulation incorrecte de la pompe turbomoléculaire avant le travail de maintenance entraîne une situation dangereuse avec un risque de blessure. Lors du démontage de la pompe turbomolécu- laire, il y a un risque de coupure en manipulant des pièces en rotation avec des faces acérées.
- Page 17 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 18 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du per- sonnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité...
- Page 19 ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispen- sée par Pfeiffer Vacuum. 19/76...
- Page 20 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 21 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe turbomoléculaire forme une unité compacte avec l’unité d’entraînement électronique et le bloc d’alimentation électrique intégré. Le système de gestion de la température (TMS) prévient la condensation des résidus de processus par l’intermédiaire du chauffage contrôlé...
- Page 22 Description du produit S T 2 S T 1 A C In p u Fig. 3: Construction du boîtier TMS 1 Fusible F1, 10 A, à déclenchement temporisé Raccordement câble accessoires ST4 2 Fusible F2, 10 A, à déclenchement temporisé Raccordement de la tension d’alimentation du manchon chauffant ST2 3 Douille de raccordement M8, câble de capteur...
- Page 23 Description du produit 3.3 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours con- server à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com...
- Page 24 ► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d’exploitation. ► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d’ex- ploitation. Pfeiffer Vacuum recommande de conserver l’emballage de transport et de protection d’ori- gine. Transport en toute sécurité du produit 1.
- Page 25 Fig. 4: Points d’attache des sangles pour le transport à la verticale de la pompe turbomolé- culaire sans emballage 1 HiPace 3400 IT HiPace 3400 IUT Instructions pour le transport à la verticale 2 anneaux à vis sont inclus dans le contenu de livraison et sont serrés à bloc dans le bâti de la pompe turbomoléculaire.
- Page 26 – Conservez les anneaux à vis pour une utilisation ultérieure. 4.2 Stockage Recommandation Pfeiffer Vacuum recommande de stocker le produit dans son conditionnement de transport d’origine. Stockage de la pompe turbomoléculaire 1. Obturez hermétiquement toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origi- 2.
- Page 27 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espa- ce de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire.
- Page 28 ● Assurez-vous que tous les moments de force générés lorsque le moteur bloque sou- dainement sont absorbés par le système du côté opérateur et le raccord de vide élevé. ● Utilisez exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbomoléculaire.
- Page 29 1 Raccordement de sûreté, côté client 5.2.3 Utilisation d’un pare-éclats ou d’écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide élevé protègent la pompe turbomoléculaire contre les matières étrangères provenant de la chambre de vide.
- Page 30 Installation Fig. 7: HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en position verticale Fig. 8: HiPace 3400 | Orientations de montage de la version standard, en suspension ► Prenez des mesures contre le reflux des fluides d’exploitation ou des condensats de la zone de vide primaire.
- Page 31 Raccord de bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trous taraudés Raccordement de la vis à tête hexagonale et du trou taraudé 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Reliez la pompe turbomoléculaire avec l’anneau de centrage à la contre-bride conformément à la figure.
- Page 32 Installation Raccordement du goujon fileté et du trou taraudé 1. Utilisez seulement des kits de montage approuvés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Vissez les goujons avec l’extrémité la plus courte dans les trous taraudés de la contre-bride. – Observez la résistance minimum de traction élastique du matériau de bride et la profondeur des vis.
- Page 33 Installation Fig. 14: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions standards Direction du raccord de vide Fig. 15: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions U Direction du raccord de vide Procédure 1.
- Page 34 électronique de la pompe turbomoléculaire (p. ex. coffret de relais ou câble de connexion). Fig. 16: Exemple d’un raccord de vide primaire sur HiPace 3400 IT 1 Raccord de vide primaire de la pompe turbomoléculaire Anneau de serrage 2 Composants de vide DN 40 ISO-KF Anneau de centrage 3 Pompe primaire (p.
- Page 35 Installation 5.5 Connexion d’eau de refroidissement AVERTISSEMENT Risque d’ébouillantage lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement à haute tempéra- ture Les connexions d'eau de la pompe turbo sont ouvertes des deux côtés. Lors de la connexion de l'ali- mentation en eau de refroidissement, il y a un risque de blessure lié à la projection soudaine d'eau de refroidissement sous haute pression et à...
- Page 36 2 Entrée d’eau de refroidissement, filetage 1/4" Buse filetée (2x) Procédure Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser un filtre dans la conduite d’alimentation. 1. Vissez une des buses de tuyau avec le joint annulaire sur chaque connexion d’eau de refroidisse- ment de la pompe turbo.
- Page 37 ► Il est interdit de déconnecter des câbles pendant le fonctionnement. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomo- léculaires hybrides...
- Page 38 ► Observez la configuration existante des connexions existantes. ► Quand une configuration est nécessaire, utilisez un appareil de commande Pfeiffer Vacuum. 5.7 Raccordement de la purge de gaz neutre L’utilisation de la purge de gaz neutre sert à protéger la pompe turbomoléculaire dans les processus poussiéreux ou avec des débits de gaz excessifs.
- Page 39 Installation Si vous souhaitez utiliser un autre gaz inerte (p ex. de l’azote N ) comme purge de gaz neutre, veuillez suivre les étapes ci-après. 1. Fournissez une alimentation en purge de gaz neutre externe avec une pression d’entrée maxi- mum de 1 500 hPa absolue.
- Page 40 Installation Procédure 1. Observez les exigences techniques relatives au coupe-circuit de courant résiduel. 2. Observez les périodes de révision prescrites pour les appareils protecteurs électriques. 5.9 Raccordement de l’alimentation électrique DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incor- rect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension.
- Page 41 ► Vérifier que la tension d'alimentation est correcte. ► Commander un câble d'alimentation électrique correspondant dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum. ► Assembler votre propre câble d'alimentation électrique en utilisant les fiches de raccordement HAN 3A livrées avec le produit.
- Page 42 élevé ou de puissants champs magnétiques entraîne un échauffement incontrôlé du rotor et peut détruire la pompe à vide. ► Avant de combiner des charges variables sur la pompe à vide, consulter Pfeiffer Vacuum. Des valeurs limites inférieures s'appliquent.
- Page 43 Instructions de fonctionnement sans panneau de commande 1. Utilisez uniquement la fiche d’accouplement agréée Pfeiffer Vacuum avec des pontages sur la connexion de l’unité de commande électronique. 2. L’alimentation secteur de la pompe turbomoléculaire ne doit être mise en circuit que juste avant la mise en route.
- Page 44 6.2.5 Fonctionnement via un bus de terrain les pompes turbo Pfeiffer Vacuum peuvent être intégrées et fonctionner dans le système de bus de ter- rain du client lorsqu'une unité d’entraînement électronique avec le panneau de connexion correspon- dant est utilisée.
- Page 45 Utilisation AVERTISSEMENT Risque de grave blessure lié à la destruction de la pompe à vide en raison d'une surpression L'entrée de gaz à très haute surpression entraîne la destruction de la pompe à vide. Il existe un ris- que de grave blessure lié à l'éjection d'objets. ►...
- Page 46 Les DEL sur l’unité de commande électronique indiquent les principaux états de fonctionnement de la pompe à vide. Une erreur différenciée et un affichage d’alerte ne sont possibles que pour le fonctionne- ment avec l’appareil de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC. Symbole État LED...
- Page 47 ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Mise à l'air manuelle La mise à...
- Page 48 Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 49 4. Respectez les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation. 5. Le fluide d’exploitation doit au moins être remplacé tous les 4 ans. 6. Demandez à Pfeiffer Vacuum Service de remplacer le palier du rotor de la pompe turbo au moins tous les 4 ans .
- Page 50 Maintenance 7.3 Remplacement du fluide d’exploitation AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement lié au contact avec des substances toxiques Le fluide d’exploitation et les pièces de la pompe turbo peuvent contenir des substances toxiques provenant du liquide pompé. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ►...
- Page 51 ► Le remplissage de la pompe turbo avec du fluide d’exploitation ne s'effectue que par l'intermé- diaire d'un des bouchons filetés marqués avec le symbole d'un bidon d'huile. ► En cas de doute, contacter Pfeiffer Vacuum. Produits consommables requis ● Fluide d’exploitation F3, 50 ml Outillage nécessaire...
- Page 52 Maintenance Fig. 22: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions standards Direction du raccord de vide Fig. 23: La position des bouchons filetés dépend de l'orientation de montage. Exemple : Ver- sions U Direction du raccord de vide Procédure 1.
- Page 53 Maintenance ATTENTION Risque de choc électrique et d’endommagement de la pompe à vide et de l'unité de comman- de électronique lié à la déconnexion incorrecte des composants Même après avoir mis hors circuit l’alimentation secteur, la pompe turbomoléculaire continue de four- nir de l’énergie électrique tant qu’elle n’est pas complètement à...
- Page 54 Maintenance Fig. 24: Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1 Unité de commande électronique TC 1200 Vis à tête Allen M4 x 12 2 Plaque de refroidissement Vis à tête Allen M4 x 65 3 Rondelle anti-vibration Démontage de l’unité d’entraînement électronique 1.
- Page 55 Tab. 18: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculaires Aides requises ● Un appareil de commande Pfeiffer Vacuum raccordé. ● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande électronique. Réglage de confirmation de la vitesse de rotation nominale 1.
- Page 56 Maintenance 7.5.1 Démontage d’une chemise chauffante Fig. 26: Démontage de la chemise chauffante 1 Chemise chauffante Connecteur 2 Sangle Boîtier TMS Démontage de la chemise chauffante La chemise chauffante doit être remplacée en cas de défaut ou de fuite dans le système d’eau de re- froidissement.
- Page 57 Maintenance 7.5.2 Installation d’une chemise chauffante Fig. 27: Installation d’une chemise chauffante 1 Chemise chauffante Connecteur 2 Sangle Boîtier TMS Installation d’une chemise chauffante 1. Montez la nouvelle chemise chauffante autour de la section cylindrique du corps de pompe. 2. Serrez la sangle. 3.
- Page 58 Maintenance Accessoires requis ● Marqueur approprié Fig. 28: Démontage des pièces d'assemblage des tubulures 1 Marquage sur la tubulure Écrou à chapeau 2 Marquage sur l'écrou à chapeau Corps de raccordement 3 Marquage sur le corps de raccordement Démontage des pièces d'assemblage des tubulures Les pièces d'assemblage pour tubulure Swagelok peuvent être démontées et remontées de façon répé- tée.
- Page 59 2. Nettoyer l'extérieur de la pompe turbo avec un chiffon sans fusel et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer complètement la pompe turbo. 4. Respecter la durée de fonctionnement totale de la pompe turbo. Si nécessaire, demander à Pfeif- fer Vacuum Service de remplacer le palier.
- Page 60 – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mettre au rebut des pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Enlevez tout le réservoir du fluide d’exploitation. 2. Enlevez l’unité de commande électronique.
- Page 61 ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de liquides de processus toxiques en cas d'endommagement des connexions Une torsion soudaine de la pompe turbo en cas de défaut entraîne l'accélération des raccords.
- Page 62 ● Unité de commande élec- ● Remplacez l’unité de commande électronique. tronique défectueuse ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La pompe turbomoléculaire ne dé- ● Fonctionnement sans ● Raccordez les connexions conformément au marre pas ; la DEL verte sur l’unité...
- Page 63 Dysfonctionnements Bruits de fonctionnement inhabi- ● Le palier du rotor est en- ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. tuels dommagé ● Rotor endommagé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. ● Pare-éclats ou écran pro- ● Vérifiez et corrigez le siège du pare-éclats ou tecteur desserré...
- Page 64 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 65 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 66 Pièces de rechange 12 Pièces de rechange Fig. 30: Pièces de rechange HiPace 3400 IT | IUT Posi- Désignation Grandeur Référence Remarque Pièces tion Unité de commande électro- se référer à la plaque signa- en fonction du panneau nique TC 1200 létique...
- Page 67 Accessoires de remise à l'air Une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum offre une sécurité de fonctionnement et de processus maxi- mum. Commande automatique via l'unité de commande électronique intégrée de la pompe turbomolé- culaire.
- Page 68 Accessoires Description Référence Câble de rallonge M12 sur M12 PM 061 747 -T Vanne de remise à l'air, blindée, 24 V CC, G 1/8" pour le raccordement à PM Z01 291 TC 400/1200 et TM 700 Unité de surveillance de gaz d'étanchéité G 1/8" PM 016 911 -U Boîtier de relais, blindé, pour pompes à...
- Page 69 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 70 Caractéristiques techniques et dimensions Désignation du type HiPace® 3400 IT HiPace® 3400 IUT Vitesse de rotation ±2 % 27300 rpm 27300 rpm Vitesse de rotation variable 50 – 100 % 50 – 100 % Temps d'accélération 8,6 min 8,6 min Débit pour Ar 2900 l/s 2900 l/s...
- Page 71 Champ magnétique radial maximum autorisé 3,4 mT 3,4 mT Poids 65 kg 65 kg Tab. 24: Fiche technique HiPace 3400 IT | IUT 14.3 Dimensions DN 320 ISO-F Fig. 31: HiPace 3400 IT | TC 1200 DN 320 ISO-F Dimensions en mm 71/76...
- Page 72 Caractéristiques techniques et dimensions DN 320 ISO-F Fig. 32: HiPace 3400 IUT | TC 1200 DN 320 ISO-F Dimensions en mm 72/76...
- Page 73 Déclaration de conformité CE Déclaration pour produit(s) du type : Pompe turbomoléculaire HiPace 3400 IT HiPace 3400 IUT Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité...
- Page 74 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 75 75/76...