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Bases d'une pompe à diffusion
Les pompes à diffusion sont utilisées quand le débit pour
les charges gazeuses élevées est important. Les pompes à
diffusion commencent à fonctionner à environ 10
après qu'une pompe primaire mécanique a évacué la
majeure partie de l'air du système.
Figure 1 Pompe à diffusion HS-20
Il n'existe aucune pièce mobile dans une pompe à
diffusion dont le cœur est le groupe de tuyères à étages
multiples, un groupe de cylindres concentriques qui sont
couverts pour laisser de petites ouvertures par lesquelles
la vapeur peut être renvoyée vers le bas et expulsée vers
les parois de la pompe. Un chapeau refroidi, monté au
sommet du groupe de tuyères, permet de maintenir la
vapeur de liquide hors de la chambre d'évacuation. Les
pompes sont refroidies par eau.
L'élément chauffant du liquide de vide est monté à la
base du corps de la pompe. Les pompes sont également
équipées d'un groupe de remplissage et de purge, et de
rupteurs thermiques de protection. L'admission est située
au sommet et la purge se fait par la tubulure de vide
primaire.
Pompes à diffusion à haut débit
Fonctionnement de la pompe
−
3
La pompe à diffusion fonctionne en chauffant le fluide de
Torr
pompage jusqu'à son point d'ébullition. Les vapeurs
montent jusqu'au groupe de tuyères, sont expulsées vers
le bas en accélérant par les buses vers les parois externes
refroidies de la pompe où la vapeur se condense et
redevient liquide. Alors que la vapeur passe l'admission,
elle capte des éléments du gaz à évacuer et les transporte
vers l'éjecteur et en dehors de la pompe via la tubulure
de vide primaire. La capacité de la pompe à atteindre des
pressions basses est régie en partie par la taille de
l'admission. Le gaz migre par un mouvement thermique
et il est capturé et éjecté, abaissant ainsi la pression dans
la cuve d'évacuation.
Les grandes pompes à diffusion atteignent un vide en
utilisant un groupe de tuyères à cinq étages, composé de
quatre étages de diffusion et d'un étage d'éjection. Le
chapeau refroidi et le corps sont refroidis par eau. Les
serpentins
inoxydables
l'ébullition en refroidissant l'élément chauffant ; ils
nécessitent une alimentation en eau munie de vannes
indépendantes.
Caractéristiques de
fonctionnement
Les Caractéristiques de Fonctionnement des grandes
pompes à diffusion sont spécifiées dans le Tableau 4à la
page 6. Les graphiques des Figure 2 à Figure 5à la page 8
indiquent la vitesse et le débit de l'air en tant que
fonction de la pression d'admission. Les dimensions de la
bride d'entrée qui est reliée au système à purger sont
indiquées dans les Tableau 6à la page 9 à Tableau 12à la
page 12.
de
Refroidissement
(en
option)
Les données du Tableau 4à la page 6
NOTE
font référence aux pompes chargées
avec le fluide de pompe à diffusion
DC-704.
Rapide
en
acier
suppriment
rapidement
5
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