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Détection des pannes
Fuite
Si vous pensez qu'une fuite est la cause d'une faible
performance, vérifiez tout d'abord les éléments suivants :
❑
Connexions d'admission et de la tubulure de vide
primaire
❑
Bouchons de purge et de remplissage
❑
Autres raccords de compression, comme les
vacuomètres à vide poussé du système.
❑
Connexions filetées comme la jauge de la tubulure
de vide primaire
Avant de procéder à une détection des pannes pas à pas,
vérifiez la performance et la précision des vacuomètres
utilisés dans le système.
Pompes à diffusion à haut débit
Dégazage
Les systèmes à vide poussé, même sans fuite externe,
peuvent présenter des charges gazeuses élevées à cause
des dégazages provenant des surfaces ou des procédés
internes. La pression du système découle de la charge
gazeuse divisée par la vitesse de pompage (p = Q/S). Si la
charge gazeuse Q dépasse le débit maximal de la pompe
à diffusion, la pompe ne fonctionne pas et l'action de
pompage provient principalement de la pompe primaire
mécanique.
Pour estimer la charge gazeuse, isolez le système de
toutes les pompes après une décharge, et mesurez le taux
d'augmentation de la pression.
La charge gazeuse peut être estimée grâce à la
relation suivante :
V
Q
=
----------------- -
où V est le volume isolé,
∆
pression, et
t est la durée de la mesure.
×
∆P
∆t
∆
P est l'augmentation de
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