Agilent Technologies G8703A-0 20 Notice De Mode D'emploi page 181

Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a
rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO
karima esetén.
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VESZÉLY! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési
folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VESZÉLY! Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz
működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi
sérülés történhet.
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (D)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
181/318
11