ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur page 8

I - Module de base
La mesure de pression
Deux jauges équipent l'enceinte.
Une jauge triple retransmet la pression de
l'enceinte. Elle est située au dos de l'enceinte.
Elle se compose de trois capteurs : capacitif,
Pirani et cathode chaude. Elle couvre ainsi une
gamme de pression variant de la pression
atmosphérique à l'ultravide. Elle est de type :
INFICON BCG 450. Elle est raccordée au
système de pilotage qui assure l'affichage de
la pression en temps réel.
6054 Notice EVA300 N°6
Jauge combinée
8/37
4/8
05/01/2009