Table des Matières
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I - Module de base
Le système EVA 300 est structuré autour de différents éléments :
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un bâti
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une enceinte à vide
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une platine source
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une platine porte substrat
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des mesures de pression
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des servitudes
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un module de pilotage SIEMENS C7-621
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différents racks de pilotage
Ce noyau de base intègre la configuration de pompage suivante :
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un système de pompage secondaire composé d'une pompe turbo moléculaire
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un système de pompage primaire équipé d'une pompe à palettes
Le bâti
Le bâti est constitué de deux modules contigus. L'un supporte l'enceinte de
pompage, l'autre le module de pilotage. Ils sont reliés entre eux, sur ce modèle, de
façon mécanique et par le réseau de câbles.
Les deux modules sont réalisés en profilés d'acier mécano soudé et habillés
par des panneaux amovibles garantissant une excellente accessibilité.
Les couleurs dominantes sont le blanc, le noir et le gris.
6054 Notice EVA300 N°6
Vue d'ensemble de l'EVA300
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05/01/2009
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