Description Generale; I - Module De Base; Module De Procédé; Performances - ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur

I - Module de base

1. Le bâti
2. L'armoire de commande / Le châssis de l'enceinte à vide / L'enceinte à vide
3. L hublot de visualisation / Les écrans de protection / Les piquages
4. La mesure de pression
5. Les servitudes
6. Le module de pilotage / Les différents racks de pilotage
7. Description du fonctionnement
8. Le cycle de pompage
II - Module de procédé
1. Porte Substrat
2. Fonctionnement de la rotation du PS
3. La source
4. Le canon à électron / Le contrôleur de dépôt
5. Contrôleur de dépôt : Principe
6. Gestion des mode de fonctionnement
7. Mode manuel
8. Mode automatique
9. Paramétrage MDC-260
10. Ecrans enceinte
III - Performances
1. Tableau des performances
2. Caractérisation des performance vide
6054 Notice EVA300 N°6

2 - DESCRIPTION GENERALE

4/37 05/01/2009