ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur page 14

II - Module de procédé
Fonctionnement de la rotation du PS :
Le rack de commande est composé, d'un interrupteurs « Marche », d'un
potentiomètre « réglage de la vitesse de rotation » et d'une sécurité à clé.
Par sécurité, il n'est pas autorisé de mettre en rotation le PS quand l'enceinte
est ouverte. Pour des opérations de maintenance, il est néanmoins possible de le
mettre en rotation par désactivation de la sécurité à l'aide de la clé.
désactivation doit être effectuée par un personnel de maintenance habilité et les
autres utilisateurs doivent en être informés ; dans toute autre situation, la clé doit être
ôtée du rack.
Le bouton vert permet d'alimenter le moteur du porte substrat. Ce bouton a
deux positions :
Au repos, le moteur n'est pas alimenté
-
Enfoncé, le moteur est alimenté (si la condition de sécurité est respectée :
-
enceinte sous vide ou clé tournée)
6054 Notice EVA300 N°6
Rack de commande du porte substrats
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Cette
05/01/2009