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ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur

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EQUIPEMENT D'EVAPORATION
SARL capital 418 000 euros – RCS ANNECY : B 380 706 200
6054 Notice EVA300 N°6
MANUEL DE L'UTILISATEUR
4, Avenue du Pont de Tasset
74960 Cran-Gevrier - France
Tel: 33 4 50 57 93 85 Fax: 33 4 50 57 93 74
Email:
contact@alliance-concept.com
www.alliance-concept.com
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05/01/2009

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Manuels Connexes pour ALLIANCE EVA 300

Sommaire des Matières pour ALLIANCE EVA 300

  • Page 1 4, Avenue du Pont de Tasset 74960 Cran-Gevrier - France Tel: 33 4 50 57 93 85 Fax: 33 4 50 57 93 74 Email: contact@alliance-concept.com www.alliance-concept.com SARL capital 418 000 euros – RCS ANNECY : B 380 706 200 6054 Notice EVA300 N°6...

  • Page 2: Table Des Matières

    SOMMAIRE 1 - PREFACE 2 - DESCRIPTION GENERALE I - Module de base II - Module de procédé III - Performances 3 - INSTALLATION I - Sécurité II - Stockage et installation III - Déplacement de la machine IV - Poids et encombrement V - Servitudes à...

  • Page 3: Preface

    Ce manuel décrit les caractéristiques du système et donne les principales procédures d'utilisation maintenance du système EVA 300. Cette notice est organisée en chapitres, chaque chapitre commence par une table de matière abrégée qui reprend les sections et les procédures à suivre pour accomplir la tâche.

  • Page 4: Description Generale

    2 - DESCRIPTION GENERALE I - Module de base 1. Le bâti 2. L’armoire de commande / Le châssis de l’enceinte à vide / L’enceinte à vide 3. L hublot de visualisation / Les écrans de protection / Les piquages 4.
  • Page 5 I - Module de base Le système EVA 300 est structuré autour de différents éléments : un bâti une enceinte à vide une platine source une platine porte substrat des mesures de pression des servitudes un module de pilotage SIEMENS C7-621 différents racks de pilotage...
  • Page 6 I - Module de base L'armoire de commande Il s'agit d'une armoire de dimension 19" : largeur 600 mm, hauteur 1800 mm, profondeur 1000 mm. Elle est posée sur quatre pieds à roulettes. La face avant présente le pupitre opérateur du module de pilotage AC 1000 intégré...

  • Page 7: Utilisation

    I - Module de base Le hublot de visualisation L'enceinte comporte porte l’enceinte un hublot pour la visualisation du procédé. Ainsi toutes les fonctions fondamentales du procédé sont visibles. Le hublot côté enceinte est protégé par un verre de protection pour garantir une propreté durable du hublot contre les projections de dépôt.
  • Page 8 I - Module de base La mesure de pression Deux jauges équipent l’enceinte. Une jauge triple retransmet la pression de l’enceinte. Elle est située au dos de l’enceinte. Elle se compose de trois capteurs : capacitif, Pirani et cathode chaude. Elle couvre ainsi une gamme de pression variant de la pression atmosphérique à...
  • Page 9 I - Module de base Les servitudes Sur la partie inférieure du châssis de l’enceinte à vide, le bâti est équipé d'une platine aluminium recevant les différents fluides. Elle est constituée : D'un jeu de nourrices entrées/sorties d'eau de refroidissement avec 9 orifices. D'un dispositif de conditionnement de l'air comprimé...
  • Page 10 I - Module de base Le module de pilotage Module de pilotage SIMATIC C7-612 L'ensemble est disposé dans une baie électrique. Celle-ci se compose d'une face avant où l'on retrouve les appareils de pilotage et d'une platine électromécanique qui contient les composants électriques. En face avant, l'opérateur a accès aux différents panneaux de commandes : - L'automatisme SIMATIC C7-621 inclut un automate programmable provenant d'un fournisseur industriel (SIEMENS)

  • Page 11: Description Du Fonctionnement

    Module de base Description du fonctionnement : L'équipement est géré à l'aide d'un automate programmable contenu dans le module de pilotage. Il actionne les différents organes (pompes, vannes, alimentation, etc.) et reçoit les informations des différents capteurs. L'opérateur dispose de deux modes de fonctionnement pour gérer l’équipement de pompage: –...

  • Page 12: I - Module De Base

    Module de base Le cycle de pompage L’EVA300 est équipée de deux types de pompes : - Une pompe primaire : pompe à sèche ACP 28 Adixen ; son débit de pompage est de 27 m³/h CFM. - Une pompe secondaire : pompe turbo moléculaire ATP 400C Adixen ; son débit de pompage est de 400L(N )/s pour une pression limite de 8.10 mbar.

  • Page 13: Module De Procédé

    II - Module de procédé 1/10 Porte Substrat Le porte substrat est installé en position haute de l’enceinte. Il est tournant (commandé par un rack de pilotage), entraîné par un moteur situé au-dessus du PS). Porte substrat Tête quartz 6054 Notice EVA300 N°6 13/37 05/01/2009...
  • Page 14 II - Module de procédé 2/10 Fonctionnement de la rotation du PS : Rack de commande du porte substrats Le rack de commande est composé, d’un interrupteurs « Marche », d’un potentiomètre « réglage de la vitesse de rotation » et d’une sécurité à clé. Par sécurité, il n’est pas autorisé...
  • Page 15 II - Module de procédé : 3/10 La Source La source se compose d'un canon à électrons type 247- 47 4 X 7cc Le canon à électrons : creuset Balayage faisceau Bloc émetteur filament 6054 Notice EVA300 N°6 15/37 05/01/2009...

  • Page 16: Le Canon À Électrons

    II - Module de procédé : 4/10 Le canon à électrons Le canon Telemark 247- 47 4x7cc passage 1 pouce, est un système compact multi creuset utilisant un faisceau d'électrons à déviation de 270°. Il est construit avec modularité pour faciliter la maintenance et l'utilisation.
  • Page 17 II - Module de procédé : 5/10 CONTROLEUR DE DEPÔT MDC-260 Principe Afin de pouvoir contrôler le bon déroulement d'une séquence d'évaporation, il est nécessaire de mesurer en temps réel (in situ) aussi bien l'épaisseur de la couche déposée que sa vitesse de croissance. L'instrument le plus répandu est la microbalance à...
  • Page 18 II - Module de procédé 6/10 Gestion des modes de fonctionnement L’évaporation peut être gérée en deux modes : Mode Manuel Mode distant Le choix entre ces deux modes est gérée par l’utilisateur Mode Manuel : Avant toute opération en mode manuel, vérifier que les potentiomètre de l’émission de courant sur l’alimentation TT3 est bien sur la position 0 sous peine d’endommager le canon lors de la mise en route.
  • Page 19 II - Module de procédé 7/10 En mode manuel Cette étape est réalisée pour connaître la puissance du canon nécessaire pour atteindre une vitesse de dépôt donnée et caractériser le facteur de correction de la boucle d’asservissement . 1. La charge (matériau à évaporer) dans le creuset est en place. 2.

  • Page 20: En Mode Automatique

    II - Module de procédé 8/10 En mode automatique Tout est géré par le MDC-260 d’Inficon préprogrammé par l’utilisateur. Le MDC-260 est relié à la tête quartz dans l’enceinte et permet de suivre en direct le dépôt. De plus il asservi le canon à électrons et fait varier les paramètres en fonction de la vitesse de dépôt et de l’épaisseur souhaitée sur le substrat.

  • Page 21: Paramétrage Mdc- 260

    II - Module de procédé 9/10 Paramétrage MDC- 260 Dans System Setup Source setup Number of pockets Source #1 Shutter Relay Type N.O. Shutter Delay Type Control Indiv Feedback Type Individual Pocket Delay (sec) Source Voltage Utility Setup Cristal Frequency 6.0 MHz Simulate Mode Attention Volume...
  • Page 22 II - Module de procédé 10/10 Écrans enceinte Afin de préserver les parois de l’enceinte de tout dépôt, des caches les protègent. Ces caches sont fournis en deux exemplaires de sorte à pouvoir continuer les dépôts pendant qu’un jeu est en cours de nettoyage ; le montage et démontage des caches doivent suivre une procédure précise afin de ne pas rencontrer de problème.
  • Page 23 III – Performances 1. Tableau des performances Taille des substrats : néant Ligne de gaz : néant Pompage chambre : ACP 28 + ATP400C Porte substrats : Diamètre 300mm Chambre : Hauteur 480mm, Largeur 380mm, Profondeur 205mm+R190mm Tests à effectuer Valeur à...
  • Page 24 III – Performances 2. CARACTERISATION PERFORMANCES VIDE Descente en pression EVA 300 N° 6 6054 Pompage ACP28 - ATP 400 1,00E+04 1,00E+03 1,00E+02 1,00E+01 1,00E+00 Descente en pression 1,00E-01 1,00E-02 1,00E-03 Vide limite 2,4E-6 mbar 1,00E-04 en 05:51:52 1,00E-05 1,00E-06...

  • Page 25: Installation

    3 - INSTALLATION I - Sécurité II - Stockage et installation III - Déplacement de la machine IV - Poids et encombrement V - Servitudes à raccorder Servitudes électriques Servitudes de refroidissement Servitudes de vide Servitudes de gaz 6054 Notice EVA300 N°6 25/37 05/01/2009...
  • Page 26 I - Sécurité Sécurité : Les spécifications d'installation, de maintenance, d’état des tuyauteries doivent être respectées. Les instructions générales de sécurité à respecter sont listées ci-dessous par domaine d'intervention. Electrique : Le personnel doit être habilité Le conducteur de terre doit être relié à la terre du réseau électrique Les travaux doivent être exécutés hors tension en utilisant le sectionneur cadenassable Les parties électriques HT doivent être mises à...
  • Page 27 Le déballage machine doit être effectué lorsqu'elle est mise à son emplacement final. Les servitudes doivent être conformes aux spécifications d'installation. La machine est raccordée et mise en route uniquement par le personnel qualifié d'ALLIANCE CONCEPT. Accessoires d’installation : Un détecteur de fuite hélium capable de détecter 10 atm.cm...

  • Page 28: Déplacement De La Machine

    III - Déplacement de la machine Le déplacement de la machine peut être réalisé grâce aux roulettes présentes sous sa structure (2 fixes et 2 orientables) ou à l’aide d’un transpalette ou d’un chariot élévateur. Dans ce dernier cas de déplacement, se référer au plan ci-dessous pour le positionnement des pales sous la machine Positionnement des emplacements pour le déplacement de la machine (en rouge)

  • Page 29: Poids Et Encombrement

    IV – Poids et encombrement Poids de la machine : 500kg Poids de la pompe primaire: 23kg Encombrement EVA300 6054 Notice EVA300 N°6 29/37 05/01/2009...

  • Page 30: Servitudes À Raccorder

    V - Servitudes à raccorder 5.1) Servitudes Electriques La machine doit être reliée au réseau électrique par l’intermédiaire du sectionneur accessible par la porte arrière de la baie. Les connexions se font en partie haute du sectionneur. Il y a les trois phases et le neutre à...

  • Page 31: Servitudes De Refroidissement

    V - Servitudes à raccorder 5.2) Servitudes de refroidissement Entrée et sortie des servitudes d’eau Veuillez à bien respecter les branchements d’entrée et de sortie d’eau à l’arrière de la machine. L'eau recyclée ou l'eau alimentaire est utilisable. Raccords : 3/8 femelle 12°...
  • Page 32 V - Servitudes à raccorder 5.3) Servitudes de Vide Refoulement de la pompe primaire Le refoulement de la pompe primaire doit être raccordé à un circuit d’extraction. Pompe primaire : type d’échappement DN 25 Débit au refoulement : 30m 6054 Notice EVA300 N°6 32/37 05/01/2009...
  • Page 33 IV - Servitudes à raccorder 5.4) Servitudes de gaz Servitudes de gaz : Azote et Air comprimé AIR COMPRIME Pression d'entrée : 6 bars ≤ ≤ ≤ ≤ P ≤ ≤ ≤ ≤ 8 bars Type de tube : Bleu ∅ ∅ ∅ ∅ 6 x 8 Tube Rilsan Fluctuation dans le temps : ≤...

  • Page 34: Utilisation

    4- UTILISATION Description des opérations Sectionneur face avant Boutons Marche et Arrêt urgence face avant en partie basse en partie haute Lors de la mise sous tension, vérifier que toutes les énergies sont bien connectées à la machine avec les spécificités recommandées dans ce manuel. Vérifier la tension au bornier d’alimentation (sectionneur de l’intérieur de la machine) 1- Assurer-vous que tous les capots sont en place.

  • Page 35: Maintenance

    5 - MAINTENANCE ATTENTION Pour les maintenances préventives sur la machine, il est nécessaire de prendre certaines précautions : Tout d'abord, elles doivent être effectuées par un opérateur qualifié pour ce type d'intervention. La maintenance doit se dérouler comme indiquée dans cette notice. Les interactions de la machine qui sont susceptibles d'être dangereuses doivent être mises en sécurité...

  • Page 36: I - Périodicité Et Opérations Courantes

    I - Périodicité et opérations courantes Les fréquences de maintenance sont des valeurs typiques pour des application propres non corrosives. Dans le cas contraire ces valeurs peuvent être réduites I – CHANGEMENT DES CONSOMMABLES PRESTATION PÉRIODICITÉ Remplacement des joints toriques statiques 1 fois / an (porte, piquages, vanne secondaire), par d'autres joints toriques (obligatoire)

  • Page 37: Pièces De Rechange

    II - Pièces de rechange Un minimum de pièces basiques de rechange est recommandé pour la maintenance de l’EVA 300 : un ensemble de joints statiques et dynamiques une seringue de graissage pour pompe turbomoléculaire une tête pour la jauge BCG 450 des quartz (cristal) pour la mesure d’épaisseur...

Table des Matières