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II - Module de procédé
En mode automatique
Tout est géré par le MDC-260 d'Inficon préprogrammé par l'utilisateur. Le MDC-260
est relié à la tête quartz dans l'enceinte et permet de suivre en direct le dépôt. De
plus il asservi le canon à électrons et fait varier les paramètres en fonction de la
vitesse de dépôt et de l'épaisseur souhaitée sur le substrat.
En premier lieu il faut créer les matériaux que la machine va évaporer ; pour cela il
faut rentrer dans le menu material.
1. Activer la touche « PROGRAM »
2. Sélectionner le menu View / Edit Material avec l'aide des flèches et valider
avec entrée.
3. Huit matériaux peuvent être définis ; choisissez un numéro parmi huit et
sélectionner avec la touche entrée.
tous les paramètres apparaissent ; les renseigner en fonction de votre
matériau et de votre procédé , exemple : densité, z-ratio, N° de creuset, P.I.D.
etc.
« Il faut aussi programmer la puissance maximale utilisée pour éviter toute
élévation exagérée de puissance en cas de déviation du faisceau électronique
(et pouvant endommager le canon ou une autre pièce). Elle est fixée en
ajoutant 5 à 10 % de plus à la puissance programmée pour atteindre la vitesse
de dépôt choisie ».
4. Une fois vos matériaux définis revenez en arrière avec l'aide des flèches.
5. Vous pouvez créer un procéder dans View /Edit Process en choisissant un
matériau parmi les huit possibles et l'insérer dans les 250 couches possibles
6. vous pouvez lancer votre programme ; une fois l'enceinte sous vide à une
pression de travaille inférieur à 1
canon à électrons, laissez la monter en température une heure ( tube
électronique ) ; mettre l'alimentation TT3 en mode manuel, mettre en route la
haute tension. Ensuite mettre l'alimentation TT3 en mode automatique et
sélectionner la touche Start du contrôleur de dépôt choisissez le procédé que
vous voulez exécuter et sélectionnez à nouveau la touche Start, voilà votre
procédé s'exécute.
7. A la fin du procédé n'oublier pas d'arrêter la haute tension en mettant sur off
voltage emission sur l'alimentation TT3 .
Nota : Se référer à la notice d'utilisation du MDC - 260 pour le détail des réglages et
des possibilités du contrôleur de dépôt.
6054 Notice EVA300 N°6
E
-5 mbar , mettre en route l'alimentation du
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05/01/2009
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