ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur page 18

II - Module de procédé
Gestion des modes de fonctionnement
L'évaporation peut être gérée en deux modes :
- Mode Manuel
Mode distant
-
Le choix entre ces deux modes est gérée par l'utilisateur
Mode Manuel :
Avant toute opération en mode manuel, vérifier que les potentiomètre de
l'émission de courant sur l'alimentation TT3 est bien sur la position 0 sous
peine d'endommager le canon lors de la mise en route.
Une fois l'enceinte sous vide à une pression de travaille inférieur à 1
mettre en route l'alimentation du canon à électrons, laissez la monter en température
une heure ( tube électronique ) ; mettre l'alimentation TT3 en mode manuel, mettre
en route la haute tension puis agissez sur les différents réglages à votre disposition
en fonction du matériau et autres paramètres souhaités.
L'ouverture du cache ce fait par l'intermédiaire du contrôleur de dépôt en appuyant
sur la touche « SHUTTER »
La lecture de la vitesse de dépôt et de l'épaisseur, ce fait sur le contrôleur de dépôt
Mode distant :
En mode distant, tout est géré par le MDC-260 d'Inficon préprogrammé par
l'utilisateur. Le MDC-260 est relié à la tête quartz dans l'enceinte et permet de suivre
en direct le dépôt. De plus il asservi le canon à électrons et fait varier les paramètres
en fonction de la vitesse de dépôt et de l'épaisseur souhaitée sur le substrat.
Nota : les mesures de la vitesse de dépôt et de l'épaisseur de dépôt dépendent du
type de matériau déposé. Se référer à la notice d'utilisation du MDC - 260 pour les
réglages.
6054 Notice EVA300 N°6 18/37
6/10
E
-5 mbar ,
05/01/2009