II - Module de procédé
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Porte Substrat
Le porte substrat est installé en position haute de l'enceinte. Il est tournant
(commandé par un rack de pilotage), entraîné par un moteur situé au-dessus du PS).
Porte substrat
Tête quartz
6054 Notice EVA300 N°6
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05/01/2009