Module De Procédé - ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur

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II - Module de procédé
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Porte Substrat
Le porte substrat est installé en position haute de l'enceinte. Il est tournant
(commandé par un rack de pilotage), entraîné par un moteur situé au-dessus du PS).
Porte substrat
Tête quartz
6054 Notice EVA300 N°6
13/37
05/01/2009

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