Table des Matières
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Module de base
I -
Le cycle de pompage
L'EVA300 est équipée de deux types de pompes :
- Une pompe primaire : pompe à sèche ACP 28 Adixen ; son débit de
pompage est de 27 m³/h CFM.
- Une pompe secondaire : pompe turbo moléculaire ATP 400C Adixen ;
son débit de pompage est de 400L(N
mbar. Elle est refroidie à l'eau.
Pompe primaire ACP28
Cycle de pompage :
La pompe primaire pompe dans la pompe turbomolcéulaire puis cette dernière est
lancée afin d'atteindre sa vitesse de fonctionnement (27000 tr/mn). La pompe
primaire pompe ensuite dans l'enceinte jusqu'à son seuil de vide préprogrammé puis
la pompe secondaire prend le relais.
Le seuil de passage pompage primaire/secondaire est fixé à 5.10
usine. Le passage entre ces différents pompages est assuré par un jeu de vanne et
est automatiquement géré par l'automate. La vanne entre l'enceinte et la pompe
turbomoléculaire est une vanne trois positions (ouvert, laminage, fermé). Cette vanne
est réglable pour le laminage en pourcentage de l'ouverture maximum. Par défaut,
elle est réglée à 30% de son ouverture maximale en réglage usine.
Nota : la gestion de la pompe turbo moléculaire étant réalisée par l'automate, il n'est
pas nécessaire de la commander à partir du rack de commande en face avant ; celui
ci fonctionne en mode commande à distance.
6054 Notice EVA300 N°6
)/s pour une pression limite de 8.10
2
Pompe turbo ATP 400
12/37
8/8
-10
-2
mbar en réglage
05/01/2009
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