Table des Matières
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III – Performances
1. Tableau des performances
Taille des substrats : néant
Pompage chambre : ACP 28 + ATP400C
Porte substrats : Diamètre 300mm
Chambre : Hauteur 480mm, Largeur 380mm, Profondeur 205mm+R190mm
Tests à effectuer
1
Vide limite après une nuit de
pompage
2
Temps de remontée en
pression
3
4
5
6
7
6054 Notice EVA300 N°6
Ligne de gaz : néant
Valeur à
Valeur mesurée en
atteindre
E
≤ 1
-6 mbar
1.9
E
1
-4 en 15
1E-4 en 24minutes
minutes
32 secondes
23/37
Valeur mesurée
usine
E
-6 mbar
1/2
chez le client
05/01/2009
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