ALLIANCE EVA 300 Manuel De L'utilisateur page 17

II - Module de procédé : 5/10
CONTROLEUR DE DEPÔT MDC-260
Principe
Afin de pouvoir contrôler le bon déroulement d'une séquence d'évaporation, il est
nécessaire de mesurer en temps réel (in situ) aussi bien l'épaisseur de la couche
déposée que sa vitesse de croissance. L'instrument le plus répandu est la
microbalance à quartz dont le principe consiste à mesurer la variation de la
fréquence de résonance d'un cristal de quartz lorsque celui-ci est soumis à une
surcharge de masse.
La tête de mesure est constituée d'un disque de quartz (diamètre 10 mm, épaisseur
0,3 mm) ce qui correspond à une fréquence propre de résonance avoisinant les 6
MHz. Ce disque est muni de contacts électriques métallisés et est relié à un
oscillateur électronique placé à l'extérieur de la chambre d'évaporation. La tête de
mesure est placée à l'intérieur de celle-ci au voisinage du substrat, orienté comme lui
vers la source d'évaporation.
Au cours de l'évaporation, la variation de masse que subit le quartz induit une
variation de fréquence de l'oscillateur qui est mesurée par comparaison avec une
fréquence de référence. La différence de fréquence est ensuite convertie en
épaisseur par un calculateur en fonction des données rentrées par l'utilisateur.
Il devient alors possible de connaître la vitesse de dépôt et l'épaisseur cumulée lors
d'une séquence de dépôt. De plus, l'MDC-260 permet de contrôler le canon à
électrons (c'est-à-dire la puissance utilisée) en fonction de la vitesse de dépôt
souhaitée et programmée. Pour cela, il faut procéder à un étalonnage préalable.
- Affichage de l'MDC-260 -
Puissance en %
Epaisseur
Vitesse de dépôt
Couche
Durée de vie du quartz Décompte des temps de phase
6054 Notice EVA300 N°6 17/37 05/01/2009