Table des Matières
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II - Module de procédé
En mode manuel
Cette étape est réalisée pour connaître la puissance du canon nécessaire pour
atteindre une vitesse de dépôt donnée et caractériser le facteur de correction de la
boucle d'asservissement .
1. La charge (matériau à évaporer) dans le creuset est en place.
2. La pression dans la machine est < à 1
3. L'alimentation canon TT3 en fonction et la haute tension présente « voltage
emission sur on »
4. Activer la touche « SHUTTER »
5. Augmenter progressivement la puissance avec le potentiomètre emission
curent adj
6. Lire la vitesse de dépôt correspondante sur l'affichage de l'MDC-260
7. Ajuster le faisceau électronique (ponctuel ou en balayage) pour le centrer et
optimiser la vitesse de dépôt
8. Noter la puissance nécessaire suivant la vitesse de dépôt souhaitée
9. Diminuer la puissance avec le potentiomètre emission curent adj
10. jusqu'à zéro
11. Pour refermer le cache, actionner la touche « SHUTTER »
Etant donné que l'épaisseur déposée sur la tête de quartz et celle déposée sur les
substrats n'est pas la même (de par leur position), il faut apporter une correction à la
valeur lue par la tête de quartz afin qu'elle corresponde à celle réellement déposée. Il
faut donc déterminer le tooling factor .
Pour cela, il faut réaliser un essai de dépôt en lui attribuant une valeur de 100. Il faut
ensuite mesurer (avec le profilomètre) l'épaisseur du dépôt (au centre du substrat par
exemple) et appliquer la relation suivante:
Où
T
: tooling factor résultant
F
T
: valeur entrée avant l'essai
F initial
T
: épaisseur mesurée avec le profilomètre
mesurée
T
: épaisseur lue par la tête de quartz et affichée sur l'MDC-260
lue
6054 Notice EVA300 N°6
E-
5 mbar
ouverture du cache-canon
T
⋅
mesurée
T
=
T
F
F
(initial)
T
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lue
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05/01/2009
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