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II - Module de procédé :
Le canon Telemark 247- 47 4x7cc passage 1 pouce, est un système compact multi creuset
utilisant un faisceau d'électrons à déviation de 270°. Il est construit avec modularité pour
faciliter la maintenance et l'utilisation.
Un seul creuset est actif à la fois, les autres sont cachés automatiquement.
Les caractéristiques principales de la source sont :
- Puissance maximum 6 KW
- Haute tension maximale à 10 KV
-
Gamme haute tension de 6 KV à 10KV
- Courant d'émission 0 à 0.5 A
-
Refroidissement à l'eau 9 l/min à T < 20 °C
-
Bobine latéral de balayage +/- 1A
-
Bobine longitudinale de balayage +/- 1A
L'alimentation Télémark TT-3 dispose des caractéristiques suivantes :
- L'alimentation du filament 12V à 50A 600W max
-
La tension peut être ajustée de 0 kV à 7 kV
-
Le courant peut être ajustée de 0A à 0,45 A
-
La puissance délivrée est de 0 à 3 kW
La liaison haute tension s'effectue au moyen de deux traversées étanche haute tension
diamètre 1".
L'alimentation intègre les modules de balayages X –Y du faisceau d'électrons
Une tourelle est mise en mouvement par un indexeur multi position utilisant un moteur
associé à son alimentation.
Sont pilotage est assuré par un module indépendant en coffret rack 19" qui intègre le boîtier
de commandes
Un système de cache à commande pneumatique complète l'installation.
La balance à quartz MDC 260 permet le suivi en temps réel du dépôt.
Il a les caractéristiques suivantes :
-
Résolution en fréquence : 0.03 Hz à 6.0 MHz
-
Résolution de masse : 0.375 ng/cm²
-
Fréquence quartz : 2,5 - 3 - 5 - 6 - 9 - 10 MHz
-
fréquence de mesure : 05 à 10 Hz
-
alimentation : 100 , 120 , 200 , 240 V, 50/60Hz , 25W
Il est équipé d'une tête simple quartz refroidie à l'eau et est logée à proximité du porte
substrat.
Ce dispositif comporte son propre pilotage à microprocesseur. Il pilote le canon à électrons au
moyen d'un programme préétabli.
Le paramétrage permet d'établir :
-
10 programmes
-
250 couches
-
8 matériaux différents
6054 Notice EVA300 N°6
Le canon à électrons
Le contrôleur de dépôt
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4/10
05/01/2009
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