Table des Matières
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V - Servitudes à raccorder
5.2) Servitudes de refroidissement
Veuillez à bien respecter les branchements d'entrée et de sortie d'eau à
l'arrière de la machine.
L'eau recyclée ou l'eau alimentaire est utilisable.
Raccords :
Température d'entrée :
Pression d'entrée maximum :
Pression différentielle minimum :
Teneur en carbonate de calcium :
Matière solide en suspension :
PH :
Résistivité :
Le débit préconisé pour un bon fonctionnement de l'EVA300 est de 20L/min
pour la totalité de la machine. Ci-dessous quelques évaluations de débit dans
chaque partie nécessitant un refroidissement :
Quartz : 1 L/min
Canon à électron :
Pompe turbo moléculaire : 2 L/min
6054 Notice EVA300 N°6
Entrée et sortie des servitudes d'eau
31/37
3/8 femelle
12° C ≤ ≤ ≤ ≤ T ≤ ≤ ≤ ≤ 20° C
3 ≤ ≤ ≤ ≤ P ≤ ≤ ≤ ≤ 5 bars
3 ± ± ± ± 0.5 bar
≤ ≤ ≤ ≤ 100 ppm
≤ ≤ ≤ ≤ 10 mg/l
6 < PH < 7
25 kΩ Ω Ω Ω .cm ≤ ≤ ≤ ≤ R ≤ ≤ ≤ ≤ 10 kΩ Ω Ω Ω .cm
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05/01/2009
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