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Liste des tableaux
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Tab. 1:
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Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10: Versions de raccordement d'eau de refroidissement
Tab. 11: Connexions des accessoires préconfigurées sur l'unité d'entraînement élec-
Tab. 12: Agencement du terminal du connecteur d'alimentation électrique
Tab. 13: Paramètres préconfigurés sur les pompes turbomoléculaires préparées pour
Tab. 14: Instructions de réglage
Tab. 15: Comportement et signification des LED de l'unité de commande électroni-
Tab. 16: Paramètres d'usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo
Tab. 17: Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbomoléculai-
Tab. 18: Dépannage des pompes turbomoléculaires
Tab. 19: Pièces de rechange disponibles
Tab. 20: Accessoires
Tab. 21: Tableau de conversion : unités de pression
Tab. 22: Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Tab. 23: Fiche technique HiPace 2800 I | IU
Tab. 24: Matières entrant en contact avec la substance du procédé
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Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Désignation de produit des pompes turbomoléculaires HiPace Pfeiffer Va-
cuum
Caractéristiques de la pompe turbomoléculaire
Puissance d'entraînement délivrée en fonction de la tension secteur
Dimensions requises d'un raccord de vide secondaire spécifique du client
Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbo par l'intermédiaire
de l'utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Exigences relatives à la composition de l'eau de refroidissement
tronique pour le fonctionnement avec le TMS
TMS à la livraison
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