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Fig. 5:
1
5.2.3 Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride
de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les matières étrangères provenant de la chambre
de vide. La vitesse de pompage de la pompe est réduite conformément aux valeurs de référence de
passage et à la taille de la bride de vide secondaire.
Taille de bride
Bouclier pare-éclats DN 250
Écran protecteur DN 250
Tab. 8:
► Utilisation d'anneaux de centrage avec écran protecteur ou bouclier pare-éclats pour brides ISO.
5.2.4 Orientations de montage
Destruction de la pompe à vide en cas de non respect de la position spatiale spécifique au
type
Des positions spatiales interdites entraînent une pollution de la pompe à vide par le fluide d'exploita-
tion. Il y a un risque de pollution du vide de processus et d'endommagement, voire de destruction de
la pompe à vide.
► Observer les étiquettes concernant la position spatiale valide de la pompe à vide.
► Observer les étiquettes de propriété sur la plaque de type.
► Avant de déplacer ou de transporter la pompe à vide, vider le fluide d'exploitation.
► L'installation mécanique doit être terminée avant de remplir la pompe à vide avec du fluide d'ex-
VACUUM CHAMBER
Exemple : Fixation contre le risque de déplacement et de basculement liés à des vi-
brations externes
Raccordements de sûreté, côté client
Réduction de la vitesse de pompage de la pompe turbo par l'intermédiaire de l'utilisa-
tion d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur
ploitation.
Réduction de la vitesse de pompage en % par type de gaz
H
He
2
7
11
2
3
AVIS
Installation
1
N
Ar
2
23
25
6
7
29/74
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